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第3章 电感式传感器(Inductive Sensors) 3·1 电感式传感器 3·2 差动变压器 3·3 电涡流式传感器 电感式传感器是利用电磁感应原理，将被测非电量转换成线圈自感或互感的变化量，再由测量电路转换为电压或电流的变化量输出的一种装置。 被测量 → 自感L(互感M) → Uo(Io) 可测量位移、振动、压力、应变、流量、密度等参数。 电感式传感器分类： ?自感式传感器(电感式传感器)：气隙型电感式传感器、螺管式电感传感器 ?互感式传感器：差动变压器式传感器、电涡流式传感器 优点： ?结构简单，工作可靠； ?灵敏、分辨率高(位移变化可达0.01μm)； ?零点稳定，漂移最小可达0.1μm； ?测量精度高，线性好； ?输出功率大，且性能稳定等。 缺点： ?传感器自身频率响应低，不适用于快速动态信号测量； ?灵敏度、线性度和测量范围相互制约。 3.1 自感式传感器(Self Induction Sensors) 自感式传感器常见的有气隙型和螺管型两种。 3.1.1 气隙型电感式传感器 1. 结构、工作原理 (a)图为变隙式电感传感器，由线圈(coil)3、铁芯2和衔铁1三部分组成。铁芯和衔铁由导磁材料制成，虚线表示磁路，在铁芯和衔铁之间有气隙，气隙厚度为δ。被测体与衔铁相连，当衔铁移动时，气隙厚度δ发生改变，引起磁路中磁阻变化，从而导致电感线圈的电感值变化(经测量电路转换成电压或电流的变化)，因此只要能测出这种电感量的变化，就能确定衔铁位移量的大小和方向。 气隙型电感式传感器 (a)变隙式 (b)变截面式 (c)特性曲线 根据电感定义，线圈中电感量L为 式中，W—线圈匝数；Rm—磁路的总磁阻。 对于变隙式电感传感器，δ较小，可认为气隙磁场是均匀的，则 式中，μ1、μ2—铁芯、衔铁的磁导率；l1、l2—铁芯、衔铁磁路长度；?—空气隙总长度；S1、S2—铁芯、衔铁的截面积；S—气隙截面积；?0—真空磁导率，?0=4??10?7H/m。 一般情况下?1=?2=? ?? ?0，因此 由上式可见，L=f(?,S)，若S保持不变，则L=f(?)，构成变隙式电感传感器；若?保持不变，则L=f(S)，构成变截面式电感传感器。 变隙式传感器特性曲线为非线性，变截面式传感器特性曲线为线性。 2. 特性分析 变隙式电感传感器的主要特性是灵敏度和线性度。 设磁路总长为l，当?1=?2=?r?0，S1=S2=S时， 电感变化灵敏度为 式中，?r—导磁材料的相对磁导率。 线性度为 单线圈变气隙电感传感器的L~?特性 结论： ?当气隙?变化时，电感的变化与气隙变化呈非线性关系，非线性程度随气隙相对变化??/?的增大而增大； ?气隙减少??所引起的电感变化?L1与增加相同??所引起的电感变化?L2并不相等，?L1??L2，其差值随??/?的增加而增大。 只能用于微小位移的测量。 为了改善电感式传感器的灵敏度和线性度，采用差动式结构。 差动变隙式电感传感器由两个相同的线圈和磁路组成，当衔铁3上、下移动时，一个线圈的电感增加，另一个线圈的电感减小，形成差动形式。 电感灵敏度为 线性度为 差动变隙式电感传感器及其特性 结论： ?差动式电感传感器的灵敏度比单线圈电感传感器提高一倍； ?差动式电感传感器的非线性失真小。 ?由于转换原理的非线性和衔铁正、反方向移动时电感值变化的不对称性，为保证一定的线性精度，变隙式电感传感器只能用于微小位移的测量。 优点：灵敏度高 缺点：示值范围小，非线性严重。 3.1.2 螺管式电感传感器(solenoid) 螺管式电感传感器有单线圈(single coil)和差动式(differential)两种结构。 结构：单线圈螺管式电感传感器由一只螺管线圈和一根圆柱形铁芯构成，铁芯在线圈中插入长度的变化，引起线圈泄漏路径中磁阻变化，从而使螺管线圈电感值变化。 螺管式电感传感器 (a) 单线圈 (b) 差动式 设线圈长度为l，线圈半径为r，线圈匝数为W，铁芯插入长度lc，半径rc，磁导率为?r?0，若铁芯长度lc?l，则线圈总电感为 当铁芯长度lc增加?lc时，线圈电感增加?L，电感灵敏度为 为了提高灵敏度，可增加W、rc、?r的值。 为了提高灵敏度与线性度，常采用差动螺管式电感传感器（自感）。 当铁芯向线圈2移动?lc时，线圈2的电感增加?L2，线圈1中的铁芯长度减小?lc，其电感变化?L1与?L2大小相等，符号相反。 差动螺管式比单个螺管式电感传感器灵敏度提