交流伺服电机的多波形旋转控制系统研究.pdf

驱动与传动 文章编号-：1008-0570(2007)伽卜l—0178_02 交流伺服电机的多波形旋转控制系统研究 Control ofMultiWave baseonACServoMotor System Rotating (山东理工大学)宋德杰 SONGDEJlE 摘要：为探索大直径单晶体生长系统的最佳旋转波形和控制参数．研制开发了晶体坩埚多波形旋转控制系统。主要部件采用 嵌入式单片机、交流伺服电机及D／A转换器等。提出了一种用D／A转换器实现交流伺服电机高精度调速的优化算法，提高 了控制精度。简化了编程方案。试验证明该系统性能可靠，工作稳定。现已正式投入使用。 关键词：单片机；多波形旋转系统；交流伺服电机 中图分类号：TM306 文献标识码：A Abstract：Anew for and control ofthecruciblemultiwaverotationhasbeen ordertolook rotationwave system developed．in prime control of ofthe aretheEmbedded Controller ACservo· parametercrystalgrowth．Maincomponentssystem MCU(MicroUnit)，and motorandDAC．andSOOil．AnewarithmeticofcontrolservomotorwithDACiS forwardandused．Itincreasesthecontrol put preci． sion．and the method．，11letestrunofthe thatthiscontrol isstableandde— simplifiesprogranlmable crystalsystemproved system pendable． waqerotation servomotor words：MCU；Multi Key system；AC 内的运转规律可用图2来描述。 1引言 ‘n(rgm) 随着微电子的不断发展，大体积高质量单晶体材料的优越 性能愈来愈受到人们的晴来。尤其国防高科技装备。但大体积高 刃＼d一“I —]一三一一_ 质量单晶体材料的生产却是一个技术难题。理论研究发现，影响 ‘T，’5≮t。I、＼ 单晶体生长的主要因素是热质对流。寻找最有控制规律。严格控 ／／吣， 二二二L一咚 制热质对流，在单晶体生长过程中就显得尤为重要。为获得高质 ① ② 量的单晶体，除了按晶体生长要求提供合适的温度场外，通常采 n(rpm) 用坩埚加速旋转技术来产生热质对流，以改变晶体生长界面前 ‘n(rpI峥 沿热量和质量传输条件，其工作示意图如图1所示。 矾I焉B矧TI弓 7＼一¨ ／”