29-真空标准1.docVIP

真空标准 不同的运用环境需要设计不同的阀门，万可姆的阀门能够涵盖到这4种真空标准之中： 真空标准 压力范围 (mbar) 极限温度(℃) 密封 阀板/阀盖 轴密封 真空VACUUM 到 1?10-7 150 氟橡胶 / 氟橡胶 轴密封“O”型圈 高真空HV 到 1?10-8 150 氟橡胶 / 氟橡胶 超高真空UHV 到 1?10-10 200 / 250 氟橡胶 / 金属 焊接式波纹管密封 极超高真空extreme UHV 比 1?10-10更高 300 / 450 金属 / 金属 焊接式波纹管密封 金属材料 万可姆的阀门使用的金属材料成份如下： 不锈钢 材料牌号 简称 成分（%） AISI DIN DIN C Cr Ni Mo 304 1.4301 Х 5 Cr Ni 18 9 0.07 17-20 8-10 - 316 1.4401 Х 5 Cr Ni Mo 18 10 0.07 16-18 10-13 2-2.5 316L 1.4404 Х 2 Cr Ni Mo 18 10 0.03 16-18 11-14 2-2.5 铝合金 材料牌号 简称 成分（%） AA DIN DIN Mg Si Mn A356 3.2371 G-AI Si 7 Mg 0.2-0.4 6.5-7.5 0.05 5210 3.3527 Al Mg 2 Mn 0.8 1.6-2.5 0.4 0.5-1.1 5754 3.3535 Al Mg 3 2.6-3.6 0.4 0.5 6082 3.2315 Al Mg Si 1 0.6-1.2 0.7-1.3 0.4-1.0 6060 3.3206 Al Mg Si 0.5 0.45-0.6 0.5-0.6 0.1 压力换算表 Pa (Nm-2) bar mbar Чbar (dyn cm-2) cm(dyn cm-2) (dyn cm-2) (dyn cm-2) Torr (mm Hg) Micron (ЧmTorr) atm Psi (lbf inch-2) Psf (lbf ft-2) Pa(Nm-2) 1 1?10-5 1?10-2 10 7.5?10-3 7.5 9.87?10-5 1.45?10-4 2.09?10-2 bar 1?105 1 1000 1?106 750 7.5?105 0.987 14.5 2.09?103 mbar 100 1?10-3 1 1000 0.75 750 9.87?10-4 1.45?10-2 2.09 Чbar (dyn cm-2) 0.1 1?10-6 1?10-3 1 7.5?10-4 0.75 9.87?10-7 1.45?10-5 2.09?10-3 Torr (mm Hg) 133 1.33?10-3 1.33 1330 1 1000 1.32?10-3 1.93?10-2 2.78 micron (Ч，mTorr) 0.133 1.33?10-6 1.33?10-3 1.33 1?10-3 1 1.32?10-6 1.93?10-5 2.78?10-3 atm 1.01?105 1.013 1013 1.01?106 760 7.6?105 1 14.7 2.12?103 psi (lbf inch-2) 6.89?103 6.89?10-2 68.9 6.89?104 51.71 5.17?104 6.8?10-2 1 144 psf(lbf ft-2) 47.8 4.78?10-4 0.478 478 0.359 359 4.72?10-4 6.94?10-3 1 流导和漏率 Pa m3 s-1 mbar ls-1 Torr ls-1 atm cm3 s-1 lusec sccm slm Mol s-1 Pa m3 s-1 1 10 7.5 9.87 7.5?103 592 0.592 4.41?10-4 mbar ls-1 0.1 1 0.75 0.987 750 59.2 5.92?10-2 4.41?10-5 Torr ls-1 0.133 1.33 1 1.32 1000 78.9 7.89?10-2 5.85?10-5 atm cm3 s-1 0.101 1.01 0.76 1 760 60 6?10-2 4.45?10-5 lusec 1.33?10-4 1.33?10-3 10-3 1.32?10-3 1 7.89?10-2 7.89?10-5 5.86?10-8 sccm 1.69?10-3 1.69?10-2 1.27?10-2 1.67?10-2 12.7 1 10-3 7