《现代分析技术》Crystal3.ppt

* 二、晶体结构分析的几种方法 (一) x射线衍射仪 采用光子计数方法记录衍射结果 x射线双晶衍射仪——光电子材料性能评价重要工具 1. 仪器的构成及工作原理 (1) 测角仪——核心部件 (2) 晶体单色器 (3) x光源 (4) 探测器 (5) 电子学系统及计算机控制 2. 双晶衍射仪在光电子材料评价方面的应用 外延生长技术 (晶体质量评价、晶格常数确定) 量子阱与超晶格 (周期及结构参数) 晶格匹配与失配、应变量子阱 (失配度) X射线衍射仪构成示意图 测角仪构造示意图 X射线晶体单色器 平晶单色器 Fankuchen晶体单色器 Johannson型曲晶单色器 双晶衍射系统 双晶衍射系统 双晶配置示意图 四晶纯束器 X光管结构示意图 闪烁探测器构造示意图 (1) 晶体质量评价——利用线宽本征FWHM(理论计算) 其中: N: 单位体积中晶胞个数 F: 结构因子 C: 偏振因子 ○ 衬底 ○ 外延层与衬底结晶质量的比较 使FWHM加宽原因: 位错、亚晶界、点缺陷、应力 位错示意图 (2) 确定晶格常数 (i) 测得衍射图形 (ii) 由衍射角计算晶面距d (iii) 标定各衍射线的指数(h,k,l) (iv) 由d及相应(hkl)计算点阵常数 (v) 误差修正 NaCl晶体的衍射全图 (3) 晶格失配与应变 考虑应变较小的情况: 水平方向晶格常数=衬底晶格常数 垂直方向应变 其中: as: 衬底晶格常数 a?: 外延层垂直方向晶格常数 ?B: 衬底的Bragg角 ??: 外延层与衬底衍射峰之间的角距离 ?B与?? 由实验测得 (4) 求混晶材料组份 由Vegard定律 晶格参数与 溶质原子浓度关系 d: 晶面距 a: 晶格常数 ?: Bragg角 AlxGa1-xAs混晶: X = 0 GaAs X = 1 AlAs 0 x 1 a1 ax a0 晶格常数 组份 应变外延层X射线双晶摇摆曲线 (5) 超晶格周期及结构参数确定 超晶格是一种人工晶体(以GaAs/AlAs一维超晶格为例) 作如下近似: 水平方向: 晶格常数与GaAs衬底相同 生长方向: (超晶格周期) 每个晶胞在外延生长方向含n1个AlAs和n2个GaAs层, 共计原子层数N=2(n1 +n2) 在AlAs层中存在水平方向压应变，生长方向张应变 (阱宽+垒宽) aAlAs = 5.6611? aGaAs = 5.6534? ▲ 衍射图形 由Bragg定理： 其中: D: 超格周期 LZ + LB ?: Bragg角 n: 衍射级数 当n=N时， 衍射级数=晶胞中原子层数 则D/N相当于平均面间距, (略大于dGaAs), 衍射峰在衬底衍射峰的小角方向, 在N级衍射峰两侧分布着 令: 第N级衍射为0级衍射峰，其卫星峰为第?1，?2，...级衍射峰 超晶格X射线双晶摇摆曲线 ▲ 由衍射峰间角距离确定超晶格周期 经代入, 三角级数展开及近似得: 实验测出?0及??0,+1求得D 取其中两个衍射峰: n，n+1 则 令n级衍射为0级衍射峰 ▲ 确定超晶格中GaAs厚度LZ和AlAs厚度LB 如前所述在AlAs/GaAs中, Al含量 又: 0级峰相当于Al含量为x(超晶格中平均Al含量)的 AlxGa1-xAs外延层衍射峰 由实验测得??0,+1 , ??0,s , ??Al,Ga三个数值可确定D, LZ , LB ?外延层与衬底衍射峰角距离 ?AlAs与GaAs衍射峰角距离 多量子阱X射线双晶摇摆曲线 *