超纯精细石英砂亟待技术突破.pdfVIP

技术探讨 广东建设报/ 2005 年/ 02 月/ 22 日/ 第 B03 版/ 　　无论是电子工业 ,还是众多的高科工业 ,都离不开由石英砂和离纯、超 纯精细石英砂支撑的石英玻璃 周边国家和原料基本自足 ,超纯石英 砂世界少有出口 进口 1 吨超纯石英砂需要 6 万元人民币 ,进口 1 吨 更精细的超纯石英砂的价格则达到了 16 万元的天文数字 令人尴尬 的是 ,我国石英砂的提纯和规模化开采目前依然处于艰难的探索阶段 超纯精细石英砂亟待技术突破 张立君 　　石英玻璃的战略地位 一般遵守 1/ 3 法则 , 即采用颗粒与缺陷的尺寸 石英玻璃具有一系列优良的物理化学性 大于 1/ 3 的石英玻璃都是有害的 ,对硅片的位 能 ,热膨胀系数极小 ,理论上可达到零膨胀。石 错、电阻率、缺陷等也都提出更高要求。 英玻璃的透光性能良好 ,不仅能透过可见光 ,还 趋向于越来越高集成度要求的现代工业 , 能透过紫外线和红外线。石英玻璃的化学稳定 对石英坩埚、石英大管及其他石英玻璃制品的 性和电真空性能良好 ,是极好的耐酸材料 ,高温 质量要求自然越来越高 ,经济发展对石英玻璃 真空度可达 1 ×10 - 5 。 的需求也越来越大。相应地 ,对制造石英玻璃 正由于具备这些优良的特性 ,被誉为“玻璃 的石英砂原料的要求自然越来越高 , 需求量也 之王”的石英玻璃才被广泛地应用于高新技术 越来越大。 领域 ,如半导体技术、集成电路制造、光纤通讯、 研究解决石英砂的提纯和规模化开采 ,尤 激光技术、航天技术以及国防军工部门。在民 其是尽快突破用于制造高端石英玻璃产品的超 用领域 ,石英玻璃被广泛应用于家电、照明光 纯精细石英砂的提取技术瓶颈 , 已成为具有非 源、紫外线杀菌、红外线加热、光固化、化工合 同寻常意义的重大问题。 成、钢铁工业连铸技术、玻璃窑炉和玻璃深加工 国内对超纯石英砂的需求 工业、纺织、造纸、食品工业、热工以及电工材料 伴随着国内电子业、IT 产业以及家电、电 等领域。 光源对于石英玻璃需求用量的不断增加 ,相应 石英玻璃是以二氧化硅单一组织构成的特 地对于超纯石英砂的需求量也在逐年增加。预 种工业技术玻璃 , 二氧化硅含量高达 99. 计石英玻璃的年增长率是 30 %左右 , 到 2005 995 % 。并且 , 随着高新技术和信息产业的发 年我国大陆石英玻璃器皿的销售额是 4 亿～5 展 ,更多领域使用的石英玻璃对于硅材料的要 亿元人民币 ,而我国台湾 2002 年石英制品销售 求越来越高。以 DRAM 为代表的集成电路基 额是 10 亿～2 亿元人民币 ,韩国 2002 年石英 本上是每 3 年集成度要提高 4 倍。IC 复杂度 制品销售额是 6 亿～8 亿元人民币 , 日本是 15 以及规模的提高,使得管心面积不断增大 ,因而 亿元人民币。 需要大直径的硅片 ,这就对硅材料的纯度和几 硅材料是大规模集成电路的基础材料 ,未 何精度特别是平整度要求越来越高。石英玻璃 来 5 年被认为是中国集成电路产业发展的机遇 材料被普遍要求所含颗粒的尺寸也相应减小 , 之年。据介绍 ,2005 年集成电路市场的需求额 是 2000 亿元 ,到 2010 年大约为 40