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文件編號:QW0903-KJO 擴晶機
操作說明書 發文日期: 版本:A 生效日期: 操作說明:
用途:擴晶片用﹐將晶片由密齊的排列改變為疏松排列﹐便于固晶
作業步驟:
一開機前檢查
1.打開電源開關
2.電源指示燈是否有亮
3.各固定鏍絲是否松脫
4.擴晶環是否准備好
5.加熱盤溫度是否達到設定溫度
6.氣壓是否達到4Kg以上
二開機試車與停機
開機試車
1.1打開電源開關﹐電源指示燈亮
1.2將溫度設定在60℃-80℃
1.3准備好待生產之晶片
1.4將擴晶固定架提起﹐將擴晶固定架提起﹐將擴晶環之下環套入加熱盤上
1.5將晶片從晶片紙上撕下放在加熱盤上
1.6壓下擴晶固定架並將鎖扣鎖上
1.7撥動上升氣缸之扭子開關使氣缸慢慢上升到頂部
1.8套上擴晶環之上環於下環上
1.9撥動下壓氣缸之扭子開關﹐氣缸慢慢往下壓使擴晶環上環與下環完全套好
停機﹕
2.1關掉上升氣缸之電源﹐使之回復到原位
2.2關掉下壓氣缸之電源使之回復到原位
2.3關掉主電源開關及氣壓開關
三停機處理
3.1無電源
3.2無氣壓
3.3螺線松脫
3.4加熱盤表面刮傷﹑粗糙
3.5其它原因
三﹑注意事項﹕
1. 運轉中排除故障﹐應關掉電源及氣壓
2. 時常注意鏍絲是否松脫
切勿將手指伸入加熱盤上
會審 審核 製表
圖示:
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