晶体硅太阳电池扩散气氛场均匀性研究.pdfVIP

第17卷第9期 电子设计工程 2009年9月 V01．17 No．9 Electronic DesignEngineering Sept．2009 晶体硅太阳电池扩散气氛场均匀性研究 悄鲎囊．匿产 (电子科技大学电子工程学院。四川成都610054) 摘要：为降低晶体硅太阳电池的制造成本。从扩散气氛场角度提出实验方法．优化扩散工艺均匀性。该研究方法可 改善太阳电池电性能并对产业化生产起指导作用。 关 键词：硅太阳电池；扩散；均匀性；气氛场；量产 中图分类号：TM914．4+l 文献标识码：A 文件编号：1674—6236(2009)08_0055—03 Researchonthediffusion environmentuniformitv air．flowing of siliconsolarcells crystalline HE Tang-gui，TANGGuang and Science (SchoolofElectronicEngineering,Univers毋ofElectronicTechnology,Chengdu610054,China) Abstract：Inordertoreducethe costof siliconsolar forwardan cells，this manufacturingcrystalline paperputs experimen— talmethodfor diffusionintermsofdiffusion environment．Thisresearchmethodis for optimizing air-lowing helpfulimprov- the ofsolarcellsand the ofindustrialization． ing quality guidingproduction words：siliconsolar Key cells；diffusion；uniformity；mr-flowingenvironment；mass—production 为主。相对于配置悬臂装载机构的扩散炉，SCL式扩散炉因 1 引言 其炉口密封性更易保障。并不采用石英保温档圈来保证炉门 晶体硅太阳电池能够取得高效转换效率的原因主要是 低温状态．工艺反应过程中SiC桨退出反应石英管外，这些 基于表面钝化、湿氧氧化等技术的应用【l-31。新技术的开发与 设计上的优点减少扩散均匀性的影响因素。在工艺生产中能 运用同时也极大地促进了太阳电池的商业化发展㈣。在过去 更好地保证扩散的均匀性；同时也极大地降低工艺粘污风 的lO年．全球太阳电池的生产以年平均30％的速度快速增险．为高效太阳电池产业应用提供硬件保障。这也是SCL式 长，单晶硅和多品硅太阳电池的增长所占比重最大．超过整 扩散炉逐步取代悬臂装载式扩散炉的原因所在。早期的工艺 个太阳电池增长的80％旧。