基于多色散斑延长效应的表面粗糙度测量及影响因素分析.pdfVIP

第 28 卷 　第 2 期 光 　学 　学 　报 Vol . 28 , No . 2 2008 年 2 月 AC TA OP TICA SIN ICA Febr uar y , 2008 文章编号 :(2008) 基于多色散斑延长效应的表面粗糙度测量 及影响因素分析 刘恒彪 　池景春 ( 同济大学理学部 , 上海 200092) 摘要 　粗糙表面在多波长激光束照射下形成的多色散斑场显示出散斑延长效应 ,利用此效应可以测量表面粗糙 度 ,并且测量结果在一定条件下不受粗糙表面横向特征的影响 。通过模拟计算随机粗糙表面的多色散斑场 , 以空 χ σ 间平均的多色散斑场局部自相关函数研究了平均散斑延长率〈〉对表面轮廓均方根偏差 h 的依赖关系 ,分析了测 量系统因素 ,如入射激光波长组合 、成像器件光敏单元尺寸和动态范围对测量结果的影响 。结果表明 , 以空间平均 的局部自相关函数代替集平均的散斑 自相关函数描述多色散斑延长效应是有效的;为达到一定的粗糙度测量精 度 ,应选择合适的入射激光波长组合和合适的成像器件光敏单元尺寸 。 关键词 　光学测量 ; 表面粗糙度 ; 激光散斑 ; 多色散斑自相关 ; 散斑延长 ; 散射场模拟 中图分类号 　T H74 1 　　　文献标识码 　A A n a l y s i s of A f f ect i n g F a ct o r s o n S u r f a ce R o u g h n e s s M e a s u r e m e n t B a s e d o n P ol y c h r o m a t i c Sp ec k l e El o n g a t i o n L iu He n gbiao 　Chi J in gchun ( Sch ool of Scie n ces , Ton gj i U n i ver si t y , Sh a n gh a i 200092 , Ch i n a) A bs t r a ct 　Sp eckle elon gation p henomenon can be obser ved w hen r ough surf ace is illuminat ed by a p olychr omatic laser beam . Based on t his dep endence t he surf ace r ou ghness can be det er mined , in w hich t he influence of t r ansverse char act eristic of r ough surf ace can be ne glect ed w hen cer t ain conditions ar e satisfied . Thr ough numerical simulation of p olychr omat ic sp eckle p at t er n of r andom r ough surf ac