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电子芯片生产工厂房板结构施工技术 中冶建工有限公司??? 熊秀康 ? ????［摘要］本文以本市西永微电园811工程施工为例介绍电子芯片生产专用平台华夫板结构施工情况，其中针对华夫板专用模具之安装和脱模方法进行了述说，最后提出改进方面的探讨问题。 ????［关键词］华夫板施工?模具安装??模具脱模 ???? ????1．关于华夫板 ????随着电子技术高速发展，中国大陆相继引进和开发电子芯片生产技术，电子芯片工厂逐步从无到有，到现在已基本形成区位格局，近两年来，我国已建设了上海松下等离子显示器厂、上海贝岭集成电路芯片厂、舰科技（苏州）公司、台积电主厂房、重庆西永微电园（渝德科技）811等工程电子芯片生产厂，逐渐满足了市场需求，促进了信息技术产业的发展，同时也拉动地区市场经济增长。 ????在这些工程项目的主体结构中，有一层专供生产电子产品的工作平台楼层结构称为华夫板，在其上设置有洁净程度很高的洁净室，芯片生产设备布置在这洁净室内，这是芯片生产最关键的地方。由于生产工艺的特殊环境要求，电子产品生产须在有不断保持洁净的无尘洁净室中进行，同时要保持洁净室内的空气流通，需将除尘后的干净空气陆续从板下方通过留孔向上压入洁净室内，以形成正压循环系统。为此，在施工结构板时应留置有大量、均匀的孔道。梯形式圆孔华夫板结构就很好地解决这些问题。我司在已承建的西永微电园811芯片厂房施工中采用了此项技术