材料物理报告 纳米光子学.pptVIP

利用表面活性剂：两亲性分子， 一端为亲水性，一端亲油性 e.g. 肥皂：硬脂酸钠，C17H35COO—Na 疏水端 亲水端 水包油胶团 油包水胶团 水 油 * （C）微乳法 microemulsion 传统洗涤剂：肥皂、洗衣粉和液体洗涤剂 Nanofabrication: Solution-based method 微乳法制备纳米粒子 包含反应物的微乳液混合，两种微乳液滴交换成分并发生化学反应，生成需要材料的微乳液 微乳液A+微乳液B?微乳液C?烘干或热解除去表面活性剂?纳米材料 ZrO2颗粒（氧化锆） * Nanofabrication: Solution-based method 化学气相沉积 利用气态的反应物，通过原子或分子间的化学反应的途径在衬底上生成薄膜、纳米线或颗粒。 优势：制模，如介电材料、导体或半导体等薄膜材料 * 供气系统 生长腔 排气系统 生长腔需供能完成反应，供能方式： 加热、等离子放电、紫外光照射、激光照射。 常用CVD技术： 热管炉化学气相沉积（HWCVD） 热丝化学气相沈积（HFCVD） 等离子体辅助化学气相沈积（PECVD） 金属有机化学气相沈积（MOCVD） 激光诱导CVD 电子束诱导CVD Nanofabrication: CVD * Application of Nanofabrication: nano-devices