DJADE混合产品批间控制技术.pdfVIP

第18卷第4期 哈尔滨理工大学学报 VoL18No．4 7IECHNOLOGY 0FSCIENCEAND 0FHARBINUNⅣERS玎1 Allg．2013 2013年8月 JOURNAL D．JADE混合产品批间控制技术 吴 勃1， 陈俊宏2 (1．哈尔滨理工大学自动化学院，黑龙江哈尔滨150080；2．中华大学机械工程学系，台湾新竹30012) 摘要：针对混合产品半导体制程，采用了一种多重输入输出批间控制技术．该技术从目前的 单机、单产品与单变量的批问控制技术，推广至多机、多产品与多变量的批间控制．所设计的 D．JADE控制器采用两个预测器，分别预测制程位移与漂移造成的扰动，然后对下一批次的制程输 入做补偿控制，使制程输出控制在期望值．为了验证采用的