柏油盘光学抛光表面温度分布规律.pdfVIP

f 维普资讯 J呻一IJ， ⑧ 柏油盘光学抛光表面温度 分 布 规 律 西北工业大学 腾霖 张广 良 任敬心 ＼／o26f-j3 一 — — - _ — - 一 本文利用新型高精度温度传感器定量地测量了柏油盘光学抛光表面温度，并对抛光 温度随抛光时间、抛光速度和抛光压力的分布变化规律进行了分析和研究 ~tilia： 巡 tj￡而音 Thispaperstudiesthetemperatureofpitchsurfaceinopticalpolishingbynew accuratetemperaturesensorand analyzesthetemperaturedistributionandchange w ithpolishingspeed．timeandpressure Keywords： OpticaIpolishing Surfaceternperature Pitch 抛光盘 内，要求传感器距表面 0l～0．2mm。不 一 、 导 言 能过深，否则影 响测量的准确性，但也不能裸露 柏油盘抛光光学零件是一种普遍采用的、能 出来，否则有可能损伤传感器，并且测得的不是 够获得高精度高光滑光学表面的抛光方法之一。 柏油表面的温度，而是传感器直接与被抛光零件 柏油的物理化学特性，如流变性、弹性、强度及 的摩擦产生 的温度 。测量过程 中，抛光盘要旋 被抛光光学玻璃 的化学作用活性，受温度的影响 转，信号则通过滑环的方式日I出来。经放大后输 很大，因而人们在讨论其抛光作用机理、抛光效 入到光线示波器中记录下来。 率及抛光表面精度的影响因素等问题时，都强调 三、温度标定 抛光表面的作用。但 以往人们对抛光表面温度只 有一些定性的认识，缺少定量的研究和分析 这 通过温度标定，即能对测温 电路及传感器的 是 由于柏油抛光盘的表面温度值一般较小的原因 灵敏度和稳定性进行调整和评价，又能对实验 中 (T<35℃)，并且 温度 变化范 围也较小 (△ 测得的温度值进行定量分析研究。 T<5℃)。这样小数值的参数，使用一般的测温 温度标定实验是在 0．1℃精度的恒温水槽 中 方法较难测量 。 进行的 在标定的初期，四个温度点的数据值 比 本文采用一种新型的高精度高稳定性的球型 较分散，一致性也较差。因而利用水槽的温度作 半导体温度传感器，直径仅为 0．5ram，较好地 为标准，通过不断调整送配 电路中元件 (电阻和