碳化硼球面薄膜及空心微球的制备.pdfVIP

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2017-09-12 发布于重庆
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碳化硼球面薄膜及空心微球的制备.pdf

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第27 卷第 12 期无机材料学报 Vol. 27 No. 12 2012 年12 月 Journal of Inorganic Materials Dec., 2012 文章编号: 1000-324X(2012)12-1325-06 DOI: 10.3724/SP.J.1077.2012.12091 碳化硼球面薄膜及空心微球的制备 1 1,2 1 1 1 1,3 于小河 , 卢铁城 , 林涛 , 王自磊 , 陶勇 , 廖志君 (1. 四川大学物理系, 辐射物理及技术教育部重点实验室, 成都 610064; 2. 中国科学院国际材料物理中心, 沈阳 110015; 3. 四川大学高能量密度与物理技术教育部重点实验室, 成都 610064) 摘要: 采用电子束蒸发镀膜技术, 结合磁控滚动方法在φ1 mm 的钢球基底上制备碳化硼球面膜层, 通过退火、打孔及腐蚀获得碳化硼空心微球. 主要研究了球面膜层的宏观形貌、微观结构、成分及初步探讨了不同退火温度 (800~1100℃)对核膜结构空心化的影响. 利用扫描电子显微镜(SEM)、X 射线光电子能谱分析(XPS)、原子力显微镜 (AFM)对球面薄膜表面形态和薄膜元素组成进行了分析. 结果表明: 磁控滚动模式制备的球面膜层表面平整, 没有裂纹和孔洞, 元素分布均匀. 核膜结构(镀膜时间在 5~70 h)经 900 ℃以上温度退火, 空心化后的球面膜层可实现自支撑, 900℃退火的微球表面形貌最好, 壁厚可达 10 μm 以上. 关键词: 电子束真空蒸发; 磁控滚动方法; 碳化硼球面薄膜; 碳化硼空心微球中图分类号: O484 文献标识码: A Preparation of Boron Carbide Spherical Films and Hollow Microsphere 1 1,2 1 1 1 1,3 YU Xiao-He , LU Tie-Cheng , LIN Tao , WANG Zi-Lei , TAO Yong , LIAO Zhi-Jun (1. Department of Physics, Key Laboratory of Radiation Physics and Technology of Ministry of Education, Sichuan University, Chengdu 610064, China; 2. International Center for Material Physics, Chinese Academy of Sciences, Shenyan