改进的犛犐犔犃犚法制备犣狀犗薄膜及其表征.pdfVIP

第 卷 第 期 原 子 核 物 理 评 论 ， ２６ ２ Ｖｏｌ．２６ Ｎｏ．２ 　 　 　 年 月 ， ２００９ ６ ＮｕｃｌｅａｒＰｈｓｉｃｓＲｅｖｉｅｗ Ｊｕｎｅ ２００９ 　 　 ｙ 文章编号： （ ） １００７－４６２７２００９０２－０１５４－０４ 　　 改进的犛犐犔犃犚法制备犣狀犗薄膜及其表征 ， ， １ １ １ １ １ １ １ ２ １ ２ 张 苓 ，刘 杰 ，侯明东 ，孙友梅 ，段敬来 ，姚会军 ，莫 丹 ，陈艳峰 　 　 　 （ 中国科学院近代物理研究所，甘肃 兰州 ； １ ７３００００ ２中国科学院研究生院，北京 １０００４９） 摘 要：采用一种改进的液相成膜技术———连续离子层吸附与反应（ ）法，用锌氨络离 ＳＩＬＡＲ 　 ２＋ 子［ （ ）］ 溶液作为独立的前驱体溶液，以载玻片为衬底，在（ ） 的温度下沉积出 ＺｎＮＨ３ ４ １２５±５ ℃ 致密、透明的 薄膜。分别用冷场发射型扫描电镜（ ）和 射线衍射（ ）分析了薄膜样 ＺｎＯ ＦＥＳＥＭ Ｘ ＸＲＤ 品的表面形貌和结晶状态，用紫外 可见分光光度计（ ）研究了薄膜样品的发光  ＵＶＶｉｓｓｅｃｔｒｏｓｃｏ ｐ ｐｙ 性能。结果表明：获得样品为六角纤锌矿结构的多晶薄膜材料沿［ ］方向择优生长；样品表面均 ００２ 匀、致密，厚度约为５５０ｎｍ；在可见光波段具有高的透射率（ ８０％）。 ＞ 关 键 词： 法； ；薄膜；表征 ＳＩＬＡＲ ＺｎＯ 中图分类号：Ｏ４８４ 文献标识码：Ａ