超薄类金刚石膜纳米摩擦性能研究.pdfVIP

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2017-09-11 发布于重庆
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超薄类金刚石膜纳米摩擦性能研究.pdf

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第 28 卷第 2 期机　械　工　程　材　料 Vol . 28 　No . 2 2004 年 2 月 Materials 　for 　Mechanical 　Engineering Feb . 2004 超薄类金刚石膜纳米摩擦性能研究 1 1 1 2 1 1 3 1 陈曦 , 丁建宁 , 李长生 , 刘东平 , 范真 , 朱守星 , 邓新绿 , 杨继昌 ( 1. 江苏大学微米纳米科学技术研究中心 ,江苏镇江 2 120 13 ; 2 . 代根多夫应用科技大学机械电子工程系 ,德国代根多夫 94469 ; 3 . 大连理工大学三束材料改性国家重点实验室 ,辽宁大连 116024) 摘　要 : 使用原子力显微镜对由微波等离子体电子回旋共振化学气相沉积技术制备的超薄类 ( ) 金刚石薄膜的纳米摩擦性能进行了研究。结果表明:氢化非晶碳膜 aC ∶H 的摩擦力和外加载荷基本成线性关系 ,可以使用修正的Amonton 公式进行表征 ;厚度在 64 . 9nm 以下薄膜的微观承载性能和膜厚存在明显的正比例关系。通过分析磨损深度和循环次数之间的关系以及对磨损区域的导电性研究 ,表明aC ∶H 膜表层的微观承载性能较其内层相差很大 ,表面存在着一层软膜。关键词 : 类金刚石膜 ; 原子力显微镜 ; 摩擦性能 ( ) 中图分类号 : TB383 　　　文献标识码 : A 　　　文章编号 : 2004 Nanotribology Study of Ultrathin Dia mondl ike Carbon ( DL C) 1 1 1 2 1 1 CHEN Xi , D ING Jianning , L I Changsheng , L IU Dongping , FAN Zhen , ZHU Shouxing , 3 1 D ENG Xinlü, YANG Jichang ( 1. J iangsu U niver sit y , Zhenj iang 2 120 13 , China ; 2 . U niver sity of Applied Sciences Deggendorf , Deggendorf 94469 , Germany ; 3 . Dalian U niver sit y of Technology , Dalian 116024 , China) Abstract : Nanotribology of untrat hi