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“扫描电镜测长问题的讨论” 一书的介绍 （周剑雄供稿zjx@cags.net.cn ） 扫描电子显微镜需要计量检定吗？扫描电子显微镜能测量微米、纳米长度 吗？本文集将给予肯定的回答，不仅指出扫描电镜是最佳的测长工具，而且提供 了实现的途径，以及计量检定和测长的关键所在。 扫描电子显微镜如何进行校验和检验？扫描电子显微镜实验室如何准确应 对实验室的认证？扫描电子显微镜如何较好地面对当今纳米科技的发展？扫描 电子显微镜实验室的技术水平的提高关键何在？在本文集中你将找到这些问题 的满意答案和办法，至少将加深对许多检定规程和测量标准的理解，并取得许多 有益的启示。我们希望本文集是关于扫描电子显微镜测长问题的一次抛砖引玉， 当然也更希望能给你带去一个新的天地。 扫描电子显微镜作为一种微小尺度样品的观测分析手段，在高科技研究和国 民经济的许多重要部门，如电子工业、金属非金属和特种新材料、航天航空和军 事科学、国家安全、生物医学以及地质学等部门都有着广泛的应用。以扫描电镜 为代表的一类微束分析技术在微米和纳米物质的两维或三维的形态观测和研究 方面，具有许多先天的优越性，如分辨力高，粒度、尺度观察直观，适用样品的 范围广，仪器普及度高等。但在国内几乎很少有人探索用作长度测量的计量仪器， 至于用作纳米测量的计量仪器更是谈不到。实际上，从20世纪70年代起，国内 外就开始对扫描电镜的测长进行了探索，我们国内的微束分析界已先后在扫描电 镜的计量检定规程、扫描电镜测长用的长度标准器、扫描电镜长度检测的标准方 法等三个方面做了许多工作，已配套制订并发布了相关的国家标准。美国 NIST 首先用作纳米长度基准的测量方法，就是加了激光干涉仪的扫描电镜。然而，在 纳米测量方法中实际应用效果最佳的这些工作未能引起重视并产生较好的效益。 本文集是近年来在微米、纳米长度的计量和检测领域的一些研究成果的综合，将 围绕扫描电镜用作微米、纳米长度测量的计量器进行深入的讨论，共有 23 篇有 关论文和资料，供大家在研讨这个问题时参考。它们涵盖了以下四个部分： 第一部分是总论，文集的第一篇对扫描电子显微镜实验室的认证和认可问题 进行了释疑，以最简明扼要的形式论述了扫描电镜与测长相关的技术关键。文集 第二篇“关于扫描电镜测长及其标准化的讨论”较全面、深入地讨论了这个为大 多数人所忽略了的但又极为重要的问题。 第二部分是与扫描电镜测长有关的计量检定规程或测量方法标准的评述和 解读，共涉及到八个有关的国内外的文字标准。其中部分是关于扫描电镜检定规 程和放大倍率的校正，部分直接关于扫描电镜的测长方法，是每个扫描电子显微 实验室必备和必须执行的标准，也充分概括了多年来我国微束标准化领域的成 果。 第三部分是与扫描电镜测长有关的实物标准样品，即有关长度标准器具（标 准尺）以及扫描电镜分辨力标准样品、各种图形标准样品等的研制问题。这是执 行各类有关扫描电镜测长标准的关键所在。其中首次报道了我国研制成功的一批 具有国际先进水平的直接溯源到国际长度基准的一批微米和亚微米级的长度标 准器，详细讨论了长度溯源标定的测量方法，以及三个微米级栅网标准样品和几 个分辨力标准样品的研制概况。 第四部分是与微纳米长度测试分析方法相关的讨论性论文，共有两篇。论文 从不同角度论述或展示了许多纳米测量分析方法的各自特点，目的是使从事扫描 电镜形态观察和测长工作的同志对微米、纳米的测量有一个整体的了解，从而使 我们更清楚地认识到扫描电镜测长方法的重要性及其优越性。 文集的最后，我们也简单地讨论了扫描电镜中成分分析的标准化技术问题。 因为扫描电镜中的成分分析功能，与其图像观察和测长功能相比，有时显得更为 重要。对多数实验室来说，其实很难区分扫描电镜的主要功能是图像观察，还是 成分分析。这就是为什么我们在讨论扫描电镜测长的同时，很有必要简单地讨论 一下扫描电镜中成分分析的标准化技术问题。 文集从另一个角度来看也可以看作是扫描电镜、电子探针以及相关的光学显 微镜、电子显微镜等实验室必备的分析测试手册，对于实验室的认证和测长标准 的执行具有重要意义。 本书所提供的资料表明：扫描电镜本身的唯一功能不仅仅是用做微区放大， 而且可以进行微米、纳米微小尺度的计量测量。目前在国内能测量纳米长度的仪 器虽然有多种，然而具备真正意义的纳米计量测量条件的仪器不多。在测量的同 时又能直接显示纳米