101取向Li掺杂ZnO薄膜光学性能的研究.pdfVIP

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  • 2017-09-11 发布于江西
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第22卷第2期 无机材料学报 V01.22,No.2 2007年3月 Journalof Materials Inorganic Mar.,2007 文章编号:1000—324X(2007)02—359—04 [101]取向Li掺杂ZnO薄膜光学性能的研究 朱兴文,李勇强,陆 液,李英伟,夏义本 (上海大学材料学院,上海200072) 摘要:采用射频磁控溅射法在玻璃衬底上制备了【101】取向的Li:ZnO薄膜,研究了该薄膜的光学性能随热处理 关键词:ZnO薄膜;Li掺杂;[101]取向;PL谱 中图分类号:0484文献标识码:A ofLi:ZnOThinFilms OpticalProperties ZHU Ye,LI Yi-

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