场限环结构电压和边界峰值电场分布及环间距优化.pdfVIP

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2017-09-11 发布于山东
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第23卷　第2期 Vol. 23, No. 2 　　　　　　　　 2003 年5 月 RESEARCH PROGRESS OF SSE May , 2003 X 何　进　张　兴 ( , , 10087 1) 2001-06-11 , 2001-11-19 : , , , 2- D MEDICI , , : ; ; ; : T N432: A : 1000-3819( 2003) 02-164-06 A New Analytical Model for Predicting Distribution of the Ring Junction Voltage, Edge Peak Field and Opti al Ring Spacing of Planar Junction HE JinZHANG Xing ( Institute of Microelectronics, Peking University, Beij ing , 10087 1, CH N ) Abstract: A n w analytical mod l for pr dicting th distribution of th ring voltag , dg p ak fi ld and optimal spacing of th planar junction w ith a singl floating fi ld limiting r ing structur is pr s nt d, bas d on th cylindrical symm tric solution and th critical fi ld con- . , c pt From this mod l th ff cts of th spacing and r v rs voltag on th ring junction volt- ag and dg p ak fi ld profil s ar analyz d. Th optimal spacing and th max imum br ak- dow n voltag of th structur hav b n also obtain d. Th analytical r sults ar in xc ll nt a- 2- , , gr m nts w ith that of th D d vic simulator MEDICI and pr vious r port d r sults show - ing th validity of th pr s nt d mod l. Key words: floating field li iting ring; breakdown voltage; edge peak electric filed; ring spacing : 2560 ; 2560 EEACC