牺牲晕蚤退火对硅衬底郧葬晕基发光二极管责型接触影响.pdfVIP

物理学报摇 粤糟贼葬孕澡赠泽援杂蚤灶援摇 灾燥造援远园袁晕燥援苑 渊圆园员员冤摇 园苑愿缘园猿 牺牲晕蚤退火对硅衬底郧葬晕基发光二极管 责型接触影响的研究鄢 员冤 员冤 员冤圆冤 员冤圆冤 员冤 员冤圆冤 员冤圆冤覮 王光绪 摇 陶喜霞 摇 熊传兵 摇 刘军林 摇 封飞飞 摇 张摇 萌 摇 江风益 员冤渊南昌大学教育部发光材料与器件工程研究中心袁南昌摇 猿猿园园源苑冤 圆冤渊晶能光电渊江西冤有限公司袁南昌摇 猿猿园园圆怨冤 渊圆园员园年怨月圆员 日收到曰圆园员园年员员月员园 日收到修改稿冤 摇 摇 本文通过在硅衬底发光二极管渊蕴耘阅冤薄膜责鄄郧葬晕表面蒸发不同厚度的晕蚤覆盖层袁将其在 晕 颐韵 越源颐员的气氛圆 圆 中尧源园园益要苑缘园益的温度范围内进行退火袁在去掉薄膜表面晕蚤覆盖层之后制备孕贼辕责鄄郧葬晕欧姆接触层援实验结果表 明院退火温度和晕蚤覆盖层厚度均对硅衬底郧葬晕基蕴耘阅薄膜责型欧姆接触有重要影响袁晕蚤覆盖退火能够显著降低责 型层中酝早受主的激活温度援经牺牲晕蚤退火后袁责型比接触电阻率随退火温度的升高呈先变小后变大的规律袁随晕蚤 覆盖层厚度的增加呈先变小后变大随后又变小的趋势曰经过优化后袁当晕蚤 覆盖层厚度为 员郾缘灶皂袁退火温度为 源缘园益袁孕贼与责鄄郧葬晕 比接触电阻率在不需要二次退火的情况下达到远郾员伊员园原缘 赘窑糟皂 援圆 关键词院氮化镓袁发光二极管袁牺牲晕蚤退火袁责型接触 孕粤悦杂院愿缘援远园援允遭袁苑猿援源园援悦早袁苑猿援远员援耘赠袁愿员援源园援耘枣 晕蚤覆盖层曰圆冤 将其在 晕圆 气氛中尧圆园园益要愿园园益 员郾 引 言 的温度范围内退火员园皂蚤灶曰猿冤 去掉薄膜表面晕蚤覆 盖层曰源冤 制备 晕蚤辕责鄄郧葬晕 欧姆接触层曰缘冤 在 晕圆 气 发光二极管渊造蚤早澡贼藻皂蚤贼贼蚤灶早凿蚤燥凿藻袁蕴耘阅冤被公认 氛中尧缘缘园益的温度下进行第二次退火援这种采用 为下一代照明光源咱员暂 袁但其走向普通照明仍需进 牺牲金属退火激活酝早受主的方法袁具有激活温度 一步降低成本尧提高发光效率援硅衬底 郧葬晕基 蕴耘阅 较低且易与其他工艺易集成的特点援之后袁众多研 的研制成功咱圆要缘暂 袁改写了以蓝宝石尧碳化硅为衬底 究小组采用 晕蚤咱员猿要员缘暂 咱员远暂 咱员远暂 咱员苑暂 咱员愿暂 袁悦燥 袁孕贼 袁栽蚤 袁栽蚤辕粤怎 的郧葬晕基蕴耘阅 的历史袁大大降低了蕴耘阅 的制造成 等储匀材料作为牺牲金属对蓝宝石衬底上 责鄄郧葬晕 本援要提高 蕴耘阅 的发光效率袁除了提高内量子效 进行选择性激活袁提高了器件的发光效率和可靠 率咱远暂 咱苑暂 和抽取效率 外袁还要在电流不变的情况下 性援本文系统研究了 晕蚤覆盖层厚度及退火温度对 降低蕴耘阅 的工作电压咱缘袁愿暂 袁即要提高金属电极与 硅衬底郧葬晕基蕴耘阅薄膜责 型欧姆接触的影响袁在 蕴耘阅薄膜之间的欧姆接触性能咱怨暂援 由于责鄄郧葬晕 中 不需二次退火的情况下获得了高性能的 责 型欧姆 存在 酝早受主难激活的问题袁低空穴浓度成为制约 接触层援 责型欧姆接触的瓶颈咱员园暂援文献中多数采用在 晕 氛 圆 围中苑园园益左右退火咱员员暂或者在有氧气存在的氛围 圆郾 实摇 验 中缘园园 益左右退火咱员圆暂 两种方法激活 酝早 受主援 圆园园员