“三明治”MEMS加速度计的设计与分析.pdfVIP

第31卷第2期 鎏纂 逐 藩 Vo1．31 No．2 2013年6月 JlcHENGDlANLUTONGXUN Jun．2013 “三明治’’MEMS加速度计 的设计与分析 王 鹏 徐 栋 何凯旋 王文婧 陈博 陈璞 黄 斌 (北方通用电子集团有限公司微 电子部 蚌埠 233042) 摘 要 基于体硅微机械加工技术，设计分析了一种抗冲击 “三明治”电容式MEMS加速度计。利 用敏感质量块与固定电极构成电容差分结构，在有效提高加速度计灵敏度的同时，减小了寄生电容的干 扰，提高了加速度计的测量精度，并对悬臂梁的抗冲击性能做了仿真分析，保证 了加速度计工作的可靠 性。经仿真与理论计算分析表明，该加速度计在Z轴向的灵敏度为0．125pF／g，谐振频率为4．9kHz，量 程为 ±50g，抗冲击性能可达 15000g。 关键词 电容加速度计 “三明治”结构 抗冲击 灵敏度 极板间距与极板间的重叠面积来决定。为了减小 1 引 言 寄生电容的干扰，并提高传感器的灵敏度，电容式 微机电系统的发展，极大地推动了传感器技 加速度传感器通常采用差分电容结构，即质量块 术的进步，实现了加速度传感器的微型化。利用 部分作为公共极板，两个电容串联相接。 微机械加工工艺制作的电容式加速度计在测量精 对于差分电容式加速度计，较为成熟的结构 度、温度特性、利用静电力… 进行闭环测量和 自 有 “梳齿”结构的电容式加速度计 J【和 “三明治” 检及易与电子线路集成等方面具有的优点，可广 结构的电容式加速度计，“梳齿”型结构的电容式 泛应用于武器装备、航空航天、石油勘探、地震监 加速度计，由于难 以实现较大的敏感质量块，且敏 测、医疗仪器等诸多领域，具有广阔的市场应用前 感电容差动变化的范围不够大，因此，这种器件通 景 。 常灵敏度不够高。采用体硅加工技术制作的 “三 电容式加速度传感器种类繁多，但原理基本 明治”结构加速度计可以实现大质量块的制作， 相同，都是通过测量电容的变化来检测加速度信 而且器件具有较大的敏感电容，因此，本文以 “三 号。电容式加速传感器有诸多优点：压阻式或热 明治”结构的加速度计为设计基础，从加速度计 对流式容易因外界温度变化而产生零位漂 的谐振频率、抗冲击性、线性度等因素人手进行仿 移 儿引，而电容式的电容值一般与电极材料无关， 真分析与理论计算，确定了加速度计的结构参数 因此可选择温度系数低的材料；加上本身发热极 以及体硅工艺流程。 小，温度对稳定性的影响甚微。而电容式加速度 2 结构设计与分析 传感器的特别突出的优点在于，灵敏度及分辨率 可以做到很高，可以测量极小的加速度和位移 J “三明治”加速度计剖面示意图如图1所示。 (0．01mm 以下)。此外，电容式除了可以实现微 对称式差分电容结构包括上电极、中间质量块以 型化需求外，也能在高温、高压、强辐射及强磁场 及下电极。中间可动部分为梁 一质量块结构，上 下电极采用低阻硅片制作，具有 良好的导电特性， 等恶劣的环境中工作，也能耐受极大冲击，适用范 上、下电极与中间质量块利用热氧化生长的二氧 围极广。电容式加速度传感器的敏感质量块与固