气体输送系统,排风系统,真空系统项目建议报告书.docVIP

目 录 1 建议书说明 2 工程范围说明 3 气体供应系统详细说明 3．1 特气输送系统管道设计说明 3．2 特气柜规格说明 3．3 工程安装说明 3．4 气体设备及管路系统图纸 3．5 气体探测仪器参数及说明 3．6 废气处理系统及说明 3．7 气体纯化系统及说明 4 排风系统系统说明 5 真空系统说明 6 检查标准，程序和方法 7 工程设计图纸和材料单 8 工程安装合同 1、建议书说明 上海兄弟微电子技术有限公司非常荣幸有机会将对半导体工艺制程技术与对气体技术的专业知识，研究技术与服务阐释给贵公司， 上海兄弟微电子技术有限公司为半导体行业及生物制药等行业提供超高纯气体，特殊气体，超纯化学品的输送设备及工程服务，同时我公司也具有对高科技厂房的成套能力。 主要服务的行业包含： LED发光二极管 LCD 液晶显示器 PDP等离子显示器 Laser激光器 Optical communication光通讯 Solar Energy太阳能 MEMS微机电系统 Microelctronics微电子 …… 此建议书仅是一个概括性的文件；上海兄弟微电子技术有限公司非常愿意与贵公司进一步解释和诠释项目相关要点。上海兄弟微电子技术有限公司将根据进一步的讨论提交一系列更为全面的项目建议书，涉及到的研究项目逐一进行项目设计。本建议书为上海兄弟微电子技术有限公司专门为 天保太阳能项目 设计制作，仅适