ZnO／α—Al2O3界面结构的掠入射X射线衍射研究.pdfVIP

第32卷 第7期 核 技 术 V_o1．32．No．7 2009年 7月 NUCLEARTECHNIQUES July2009 ZnO／a—A1203界面结构的掠入射X射线衍射研究 孙 柏 ’2 康朝阳 李锐鹏 刘忠良 唐 军 徐彭寿 潘国强 1(中国科学技术大学国家同步辐射实验室 合肥 230029) 2(中国科学院合肥智能机械研究所 合肥 230031) 摘要 采用脉冲激光沉积(PLD)技术 ，以。-【AI2O3(001)为衬底，在不同衬底温度下制备ZnO薄膜。利用x射线 衍射(XRD)和同步辐射掠入射x射线衍射(GID)研究了薄膜的结晶性能和薄膜与衬底的界面结构。实验结果表 明，在衬底温度较低(450~C)时，ZnO薄膜主要受衬底拉应力的作用，使界面处 a方向的晶格常数增大；而在 衬底温度较高(750~C)时，ZnO薄膜主要受衬底压应力的作用，使界面处a方向的晶格常数减小；在优化的衬 底温度(650~C)下，Zn