P-6探针表面形貌分析仪.pdfVIP

表面形貌分析 测量 P-6 探针表面形貌分析仪 以 KLA-Tencor 在半导体、数据存储、微电子机械系统 (MEMS)、太阳能、光电子 优势 等多种用途市场上取得成功的业界领先探针表面形貌分析仪为基础，新开发了 P-6 最长的标准扫描长度，最长的可选扫描长 探针表面形貌分析仪 (Stylus Profiler) 。此中阶平台汇集了与 KLA-Tencor 品牌相 度，以及全长最平整的扫描 关的所有优越扫描特性—可编程扫描台、低噪声与高质量、高分辨率长扫描。 全Z方向量程上的最佳噪声本底、线性和 P-6 以所有制造商中的最佳性价比，在一个通用平台上提供了完整高分辨率二维与 测量灵敏度 三维表面形貌分析。该系统的三个不同测量头配置可为各种垂直表面形貌提供高度