基于WO3薄膜的双声路声表面波型SO2气体传感器.pdfVIP

功能材料与器件学报 Vo1．15．No．1 第 15卷第 1期 Feb．．2009 2009年 2月 JOURNAL0FFUNCTIONALMATERIALSANDDEY 文章编号：1007—4252(2009)01—0001—06 基于WO 薄膜的双声路声表面波型 SO2气体传感器 文常保 ，朱长纯 ，巨永锋 ，邱彦章 ，许宏科 ，胡小东 ，吴媛 ，刘君华 (1．长安大学电子与控制工程学院，西安710064； 2．西安交通大学电子与信息工程学院，西安710049) 摘要：以金属钨粉，H0：，CH，OH和PVP(聚乙烯吡咯烷酮)为原料，利用热喷射方法在双声路声表 面波器件的测量声路上制作了细微多网孔状WO，薄膜，提出并实现了一种在常温下可以实现对二 氧化硫(SO：)气体进行物理吸附和解吸附的基于WO。薄膜的双声路声表面波型S02气体传感器。 声表面波器件的双声路结构消除了由于外界测量条件改变引起的测量误差，也进一步提高了传感 器的可靠性和准确性。实验结果表明，该传感器具有好的重复性，在测量范围内对各种浓度的 SO，气体具有好的响应特性；传感器在0．5ppm到20ppm浓度范围内的线性灵敏度大约为6·8 KHz／ppm。 关键词 ：声表面波器件；WO，薄膜；SO 气体；传感器；PVP 中图分类号：TN65；TP212； 文献标识码 ：A DualtracksurfaceacousticwaveSO2gassensorbasedonW O3films WEN Chang—ba。．一，ZHUChang—chun ，JUYong—feng ， QIuYan—zhang，XUHong—ke，HUXia。一dong，wuYuan，LIUJun—hua (1．SchoolofElectronicsandControlEngineering，Chang’anUniversity，Xi’an710064，China ’ 2．SchoolofElectronicsandInformationEngineering，XianJiaotongUniversity，Xi’an710049，China；) Abstract：An0ve1schemeofdualtracksurfaceacousticwaveSO2gassensorbasedonWO3(Tungstentri- 0xide)filmsispr0posed．UtilizingTungstenpowders，H2O2，CH3OHandPVPasrawmaterialsandpyroge。 nationsDraymethod，micro—porousnetworksWO3film isfabricatedinmeasureacoustictrackofdualtrack surfaceacousticwavedevice．TheSO2gassensorusingdualtracksurfaceacousticwavedevicebasedon WO filmswouldabsorbanddesorbedSO2gasinphysicalmethodundernormaltemperature·Becausethe dualtrackreceivingstructureisincorporated intothesensor．theenvironmentdisturbancequantitiesiO measurementsignalareeliminated，andthereliabilityandveracityarefurtherimproved·Experiments