表面技术(第7讲 气相沉积技术(Ⅰ)).pdfVIP

南京航空航天大学 第七讲 气相沉积技术(Ⅰ) 表面技术 第七讲 气相沉积技术(Ⅰ) • 物理气相沉积(PVD) ：真空蒸 镀、溅射镀膜、离子镀等。 • 化学气相沉积(CVD) 南京航空航天大学 第七讲 气相沉积技术(Ⅰ) 表面技术 一、真空技术基础 •1. 真空：在指定的空间内压力低于101325 Pa 的气体状态。真空度通常用压力表示。 •真空度单位：Torr、Pa、mmHg、bar 。 1标准大气压=1bar=760Torr=760mmHg = 101325 Pa 5 2 •真空划分：低真空(10 ~10 Pa)、中真空 2 -1 -1 -5 (10 ~10 Pa) 、高真空(10 ~10 Pa) 、超高 真空(10-5Pa) 。 南京航空航天大学 第七讲 气相沉积技术(Ⅰ) 表面技术 2. 真空成膜技术的特点 • 1) 排除了空气的不良影响，可防止金属 氧化、物体腐烂； • 2) 除去或减少气体、杂质污染，提供清 洁条件； • 3) 减少气体分子之间的碰撞次数； • 4) 真空的绝热性强； • 5) 可降低物质的沸点或气化点。 南京航空航天大学 第七讲 气相沉积技术(Ⅰ) 表面技术 3. 真空的应用 •宇航环境的模拟，加速器技术，可控热 核反应技术，真空输送，真空过滤，真 空干燥，真空蒸馏，真空制盐，真空浓 缩，真空除臭，真空结晶，冷冻干燥， 真空浸渍，真空调湿，真空渗金属，真 空热处理，真空离子氮化，真空制冷， 真空烧结，真空熔炼，真空镀膜，低温 绝热等。 南京航空航天大学 第七讲 气相沉积技术(Ⅰ) 表面技术 4. 真空获得设备 3 • 机械真空泵：往复真空泵(单级10 Pa，双 3 级10Pa)、水环真空泵(单级10 Pa，双级 2 -1 10 Pa)、油封旋转式真空泵(单级10 Pa ， 双级10-2Pa)、罗茨真空泵(10-2Pa)、涡轮分 子泵(10-8Pa)； • 蒸气流泵：扩散泵(10-1 ~10-7Pa) 、喷射泵 (104 ~10-1Pa) 、扩散喷射泵(10 ~10-2Pa) ； • 物理化学泵：吸附泵、升华泵、离子泵、 低温泵等。 南京航空航天大学 第七讲 气相沉积技术(Ⅰ) 表面技术 南京航空航天大学 第七讲 气相沉积技术(Ⅰ) 表面技术 旋片式真空泵工作原理 旋片式真空泵工作原理 1.排气口 1.排气口