量子点的原子力显微镜测试结果的分析数学形态学的实现.pdfVIP

第26卷第11期 半导体学报 VoL26No．11 CHINESEr。()F Nov．，2005 2005年¨月 JOURNASEM工coNDUCToRS 量子点的原子力显微镜测试结果分析： 数学形态学的实现” 金峰1 鲁华祥1 李 凯2 陈涌海2 王占国2 (1中国科学院半导体研究所神经网络实验室，北京lo0083) (2中国科学院半导体研究所材料开放实骑室，北京lo0083) 摘要：提出了从原于力显微镜(AFM)照片中分割出量子点的算法，可以利用程序自动地统计照片中量子点的各种 数据．该算法基于数学形态学的方法，包括三个步骤：首先根据照片中每个局部最高点的dynam-cs值，利用标记分 水岭分割方法初步将每个量子点分开；第二步根据量子点的定义，从每个区域中提取出量子点；第三步，为了防止 分割过程中将部分村底一起提取，利用量子点的高度一面积分布，将多余衬底滤去该算法具有快速、对噪声不敏感 的特点，能准确地提取量子点的高度、横向尺寸、体积等数据． 关键词：数学形态学；分水岭变换；量子点检测 自动统计 EEACC：2520DPACC：2852F；4280W 07 中图分类号：TN304．054文献标识码：A 文章编号：0253—4177(2005)11—2120 人曾研究过这样的算法o“1．在他们工作的基础上， 引言 本文的算法具有如下创新：(1)由于衬底表面起伏情 况复杂，对所有量子点选取一个统一的衬底基准高 近年来，量子点结构材料以其优越的光学性质 度在～些情况下是不合理的．本算法根据每个量子 在理论和实验上引起了广泛关注．量子点的尺寸、形 点周围衬底的具体情况选取其衬底基准高度．(2) 状、密度等对其器件性能有直接影响，获得这些统计 AFM针尖在平衡位置附近振动会造成背景噪声， 数据对器件设计有重要意义”“]．目前表征量子点 AFM针尖的尺寸和形状也会对量子点的识别造成 表面形貌最常用的手段是原子力显微镜(AFM)．根影响，而本算法对这些干扰具有很强的容错性．(3) 据AFM的测量原理，AFM针尖在样品表面扫描，对于点密度很高的量子点样品，本算法有良好的统 在扫描范围中等间隔地在z和，方向上采样若干 计结果．(4)本算法对纳米颗粒的形状具有很强的适 个数据点，并测量出这些点的高度值．测量后的原始 应性，能识别包括环形量子点、甚至纳米尺寸坑洞在 数据可以以图像形式直观地提供给测试者． 内的多种形状的纳米颗粒．(5)统计结果包含更多信 通过AFM图像只能粗略地知道样品的形貌特 息：例如样品中量子点数目、点间距、点密度、体积密 征．若要得到诸如量子点的高度、横向尺寸、密度等 度、平均高度、直径，以及每个量子点的高度、横向尺 统计信息，必须对原始数据进行加工处理．凭肉眼进 寸、底面积、体积、长短轴长度和取向等． 行人工统计繁琐耗时且不准确，几乎无法得到诸如 体积等的统计数据．由于上述原因，关于量子点形貌 2 数学形态学简介：分水岭变换和 研究的文献[4，5]，往往只给出量子点的横向尺寸、 dynamics值定义 高度等有限统计数据，而实现自动化量子点测量算 法方面的工作则鲜有报道．因此研究自动统计样品 数学形态学最早可以追溯到1965年…，它是一 表面无规则分布的纳米颗粒是必要的