大尺寸触控面板用铜布线薄膜的制备.pdfVIP

霸《辫第7期 V6I．33No．7 大尺寸触控面板用铜布线薄膜的制备 曾海军 (北川天讯新材料有限公司，四川 绵阳 622750) 摘要：介绍了一种 高透光、电阻小，可用于触摸面板大型化的 电脑、大尺寸的笔记本 电脑等设备上开始采用触控 透明导电性薄膜的制造工艺，即在 PET(聚对苯二甲酸乙二酯) UI(用户界面)，科研人员努力寻求在大尺寸屏幕应用 薄膜上形成 肉眼不可见的铜 网。其工艺流程主要包括低温等离 中ITO薄膜的替代材料 。另外，由于 ITO上的铟属稀 子体表面清洗，磁控溅射 Ni-Cr过渡层及Cu植晶层，硫酸盐镀 铜层，光刻。所得铜布线薄膜的性能超过了一般 ITO(氧化铟锡) 土类金属，供应有限且价格 昂贵，与此 同时，触控面 膜的性能 。