现代超精密加工技术的概况及应用.pdfVIP

　综 　　述 　 现代超精密加工技术的概况及应用 周志斌 　肖沙里 　周 　宴 　汪 　科 摘要 　对现代超精密加工技术的发展现状 、地位以及在相关领域的应用进行了论述 。并对超精密加工设备以及误差补 偿技术方面也作了阐述 。 关键词 :超精密加工 　精度 　机床 　纳米 中图分类号 : TH 16; TG66　文献标识码 : A 　文章编号 : 1671—3 133 (2005) 0 1—0 12 1—03 Genera l situa tion and applica tion of ultraprec ise m ach in ing techn ique Zhou Zh ib in, X iao Sha li, Zhou Y an, W ang Ke A b stract　D iscu ssed the developm ent, statu s and app lication in the correlative field of the modern u ltrap recise m ach in ing tech n ique under summ ing up a m a ss of dom estic and foreign data. It has also discu ssed the m ach in ing m echan ics and the po ssib le m a ch in ing equ ipm en ts and the error comp en sation techn ique abou t the u ltrap recise m ach in ing techn ique. Key words: Ultraprec ise m ach in ing　Prec ision　M ach ine tool　Nanom eter 　　超精密加工技术是指被加工零件的尺寸精度高于 目”和陆、海 、空三军 “先进制造技术开发计划 ”,对超 μ μ 01 m ,表面粗糙度 R a 在 01 ～0025 m 之间 , 以及 精密金刚石切削机床的开发研究 ,投入了巨额资金和 μ 所用机床定位精度的分辨率和重复性高于 00 1 m 的 大量人力 ,实现了大型零件的微英寸超精密加工 。如 加工技术 ,亦称之为亚微米级加工技术 ,且正在向纳米 美国劳伦斯 ·利弗莫尔国家实验室已经研制出一台大 ( 级加工技术发展 。超精密加工技术主要包括 :超精密 型光学金刚石车床 L arge Op tic s D iamond Tu rn ing M a 加工的机理 ,超精密加工的设备制造技术 ,超精密加工 ch ine, LOD TM ) ,是一台最大加工直径为 163m 的立 工具及刃磨技术 ,超精密测量技术和误差补偿技术 ,超 式车床 ,定位精度可达 28nm ,借助在线误差补偿能力 , 精密加工工作环境条件 。 它已实现了距离超过 1m 而直线度误差只有 ±25nm 的加工 。日本超精密加工技术水平较高 ,应用对象大 1　国内、外超精密加工技术概况 部分是民用产品 ,包括办公 自动化设备 、