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电于显微学报J.Chin.Eleetr.Microsc.soc 122 25(增刊):122—1232006年 {011}(uvw)取向银基带的织构研究 刘丹敏,刘 星,周美玲,胡延槽 (北京工业大学,北京100022) 由于缸不与超导氧化物发生反应,在Ag基带 的银基带,利用EBSD、XRD、TEM等研究方法,探索 上可以直接沉积YBa2Cu。07.。超导薄膜而不需过渡{011{(uvw织构的形成规律,并为今后制备高强度 层,但基带的织构状态对超导膜的电性能有很大影 的{011l(uw)取向的双轴织构银基带提供理论指 导。 响。研究表明{0lll(u、,w)取向的舨基带有利于外 延生长具有c取向及面内取向的YBa2Cu307一。超导 {011}(211)取向的银基带是采用不脱氧的银 薄膜,进而使超导膜具有高的I临界电流值。目前国 坯,进行92%的大变形量冷轧,再通过700。C真空退 火而得到的。图1a和lb分别是冷轧态和退火态Ag 内外已能够制备{011}(uw)取向的缸基带,但其织 构强度和集中度还不够高,致使在其上沉积的超导 样品的ODF截面图。由图可见在冷轧的衄基带中 已形成了较强的{110 薄膜质量不够好。因此探索Ag中}011}(nw取向 J(211)黄铜取向(妒,=35。,≯= 的形成机理,对进一步提高{011l(uvw)织构的强度45。,妒:=oo),而经过真空退火后则形成了单一取向 和集中度非常重要。 的{1lOl(211)织构。 本文制备了{01l}(211)和{oll}(011)两种取向 图1 a:冷轧态Ag样品的ODF截面图.b;退火态Ag样品的ODF截面图。 成固溶体,并使银的晶格强化,增加Ag在形变过程 中位错滑移的阻力,使得未脱氧的舨样品冷轧过 程中的形变机制以孪生形变为主,并由此在大变形 量的冷轧样品中形成了较多的形变孪晶。而无论是 形变最初阶段的滑移过程还是形变加剧后的孪生过 程,}110}(2a1)取向都是最稳定的取向。因此未脱 氧的缸样品,经较大变形量冷轧后,形成了具有很 强{110}(211取向的典型黄铜型形变织构。孪晶的 密度相当高,而且孪晶界基本保持平直,孪晶界两侧 图z黼量!蓁!苎基底的 嚣篙譬篇喜-黧敛鬻茎嚣蓍菱喜 …一………………¨…一……’一 TEM电子衍射谱。 于成为再结晶的核心,因而使其周围形变组织均按 研究发现,由于银中能够固溶一定含量的氧形 {011}(211)取向长大,使得退火后得到很强的}110} 基盘项目:国家863项目(No2002AA306221) 电子显微学报J.Chin.Elecir.Miero∞.S∞ 25(增刊):122—1232006年 123 (211)取向。由于

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