基于有机%2f无机杂化材料的加载条形光波导的制备研究.pdfVIP

仝阳第四届塑料光纤、聚合物光了学会议论文囊 基于有机／无机杂化材料的加载条形光波导的制备研究6 王微高伟男邓玲孙小强孙杰高磊张大明7 (集成光电子学围家重点联合实验室吉林大学实验区， 吉林大学电子科学与工程学院．长春130012) 摘要： 本文介绍了一刊-基于有机／无机杂化材料的加载条形光波导结构。针对杂化材料的特性． 波导上制作了cpw行波电极，在ikHz交流信号作用下得到了调制光强信号．实现了有机／无机杂 化材料M—z型电光调制器波导的制作。 关键词：有机／无机杂化材料：加载条形光波导；聚合物电光调制器 l引言 光通信领域的快速发展，对高速电光调制器件的商业需求大大增加。聚合物电光调制器以其低 廉的成本，快速的电子响应等特有的优点成为研究热点之一【1卅。极化聚合物的电光特性以及波导的 设计与制作都是直接决定整个器件性能的关键因素”】。本文采用聚甲基丙烯酸甲酯和聚甲基丙烯酸 质屡，在SiO：衬底上制作了加载条形Mz波导。利用光波导测试系统获得了近场输出光斑。搭建了 电光调制器的测试系统，以l 到了电光调制信号。 2M．Z型电光调制器的原理 M-z型电光调制器结构如图l所示：输入光波经过一段光路后在第一个Y分支处被分成相等的 两柬．分别在两个波导中传输。光波导是由电光材料制成的，其折射率随外加电压大小而变化。当 在电极上施加电压后，两个波导内分别产生大小相等、方向相反的电场．使两个分支波导的有效折 射率一个增加，另一个减小，从而使两束光信号到达第二个Y分支处产生相位差嘲。若两束光的光 程差是波长的整数倍，两束光相干加强：若两柬光的光程差是波长的半整数倍，两束光相干抵消， 调制器输出很小。因此通过控制电压就能控制输出光强的大小。 输入光 L电极 图1 M—z型电光调制器 6国家重点基础研究拉展规划(973)项目(项目号：2006CB302803)资助 edu．cn自话：0431 7Email：—zhangdm@—ilu 全l刊第四届塑料光纤、聚合物光f学会议论文集 在M—z型电光调制器中，调制带宽受到光波速度和微波速度之差、电极特征阻抗和传播损耗的 限制，尤其是光波和微波之间的速度匹配和微波衰减是影响行波调制器性能的两个关键问题。我们 采用共面波导(CPW)电极，这利，结构可获得较低的驱动功率．也可以提供较好的阻抗匹配¨I。 3波导的制备和测试分析 31有机无机／杂化材料的合成 有机／无机杂化材料兼有有机材料和无机材料的特性，是一种新型复合型材料。我们采用的有机 ／无机杂化型电光材料是通过溶胶一凝胶工艺以分散红(DRI)为单体的硅基杂化材料。将DRI、钛 性的环境下进行水解和缩聚反应，DRl分子均匀分布在具有微孔的三维O．Si-O网格结构中H】。经过 45～60分钟的搅拌，将此溶液经过022 J_tm的有机滤膜过滤后旋涂成膜，在80℃下固化2小时跚。 杂化材料的折射率可以通过掺入的钛酸四丁酯的量来调节，用椭偏仪测得实验中采用的杂化材 料的折射率为165(@1550nm)左右，厚度约为o 电光系数可以达到20rm／V以上，而且稳定性良好。 32加载条形波导的设计 有机／无机杂化材料，具有良好的电光特性和稳定性，但成膜厚度小，很难直接制作成波导芯层， 同时杂化材料与其他聚合物材料热膨胀系数不匹配，旋涂在pM／vIA薄膜上后在加热过程中很容易开 裂，综合考虑各种因素，我们设计了一种波导结构——加载条形波导”】，其结构如图2所示。 图2加载条形光波导结构示意图 65，l (PMMA—GMA)，其折射车分别为l 理论模拟显示，这种结构的光场最强部分在杂化材料层，可以较好地利用材料的电光效应。 3．3波导制备 图2所示的结构甲，芯层为矩形波导，实验中利用反应离子刻蚀(RIE)和铝掩模光刻技术进行 制作，其工艺流程如图3所示，具体步骤为： (1)对SiOz衬底进行清洁，依次用丙酮、乙醇擦拭并超声清洗，再用去离子水冲洗； (2)在