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2017-09-01 发布于安徽
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基于四光束的镀膜监控研究.pdf

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纪念马祖光院士全国光电子与光电信息技术学术研讨会论文集·哈尔滨2006 基于四光束的镀膜监控研究许世军L2，任小玲3 (1．西安工业学院数理系，陕西西安710032：2．西安交通大学理学院，陕西西安710049； 3．西安工程科技学院计算机学院，陕西西安710048) 摘要：光学镀膜的关键技术是准确监控膜厚，以期监控薄膜的光学特性．针对通用镀膜仪膜厚控制稳定性和精度不高、自动化程度低的状况，研究了全新的光电控制分析系统．提出四光束光电测试系统，采用双锁相电路系统和复合滤波的综合数字处理系统进行镀膜信号处理，并通过控制分析系统实现监控．测试结果表明，反映膜厚控制重复性的膜厚标准偏差小于 0．55‰反射率显示分辨极限为0．02％，系统漂移的线性程度很高，静态漂移率接近0．新系统极大地提高了光学薄膜厚度监控系统的静态、动态稳定性和膜厚控制精度，膜厚监控的整体性能指标比较高．关键词：光电检测；膜厚监控系统；四光束系统；双锁相电路；复合滤波；稳定性；精度 Researchon Thin-filmBasedonFour MonitoringDepositingOptical Light Bearns 3 XU Shi-jun“．RENXiao—ling Institute 710032，China；2．SchoolofScience,Xian ofMathematicsPhysics，XianofTechnology,Xi‘all Jiaotong (1．Department 710049，China；3．School University,Xi’an ofComputer,Xi’anUniversityofEngineering 710048，China) aimsat for thin-filmisaccurate of thin-filmthickness，which Abstract：Thc monitoringoptical keytechniquedepositingoptical levelon characteristic．Foruniversal arelow and andautomation controllingoptical coatingequipments，whichstabilityprecision has thenew thin．film new controland been thickness，a analysissystem developed．Insystem,a monitoring photoelectric