交流量热法薄膜热扩散率自动测试系统研究.pdfVIP

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2017-09-01 发布于安徽
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交流量热法薄膜热扩散率自动测试系统研究.pdf

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第卷第期仪器仪表学报年月 #% 7 #5 7 基于交流量热法的薄膜热扩散率自动测试系统的研究! # # 许自强唐祯安黄正兴丁海涛大连理工大学机械工程学院大连 $ %#’( # 大连理工大学电子系大连 $ %#’( 摘要设计并组建了一套基于交流量热法的薄膜热扩散率的自动测试系统实现了薄膜热扩散率的自动化测量该系统以 ) * 机为主控机利用串口与运动控制卡通信控制压电陶瓷超声电机实现采样点的精确定位通过总线控制锁相放大 +, ) ) ) -+./ 器采集位于待测薄膜表面上的微热电偶的温度响应信号由温度信号的幅值与采样距离的关系得到薄膜的热扩散率讨论 ) * * 了该系统的软硬件组成测试原理及功能特性并给出了系统软件的工作界面和测试数据 0 ) * 关键词热扩散率交流量热法自动测试系统 -+./总线中图分类号 3 文献标识码国家标准学科分类与代码 #2’ 45 547% 1+ 6 89:;=?:9=@A9B;CBD98D9B@ =ECFBG@AHIJEE:DJKJ9=ECFJLJH@DMADB; =?NNAH=GJ@B9GJOPB9F=; # # QRSTUTVWX 1VWXSYZWVW [RVWXSYZWX\TWX ]TWX[VT^V_ ‘ $ d ) d d) ‘‘tuvw) ( abc efghbcijkbilmjnkjhhokjn pilkijqjkr efshbc pilkij xckji v $ d ) d ) ‘‘tuvw) ( phyz efmlhbzoejkbmjnkjhhokjn pilkijqjkr efshbc pilkij xckji ) ?