MEMS若干动力学问题的研究1.pptxVIP

振动、冲击、噪声国家重点实验室MEMS若干动力学问题研究孟 光 张文明振动、冲击、噪声国家重点实验室上海交通大学振动、冲击、噪声国家重点实验室概要 (Outline)微机电系统的基本概况MEMS动力学问题研究微转子动力学问题研究若干动力学问题的研究MEMS动力学研究展望振动、冲击、噪声国家重点实验室1 微机电系统的基本概况1.1 MEMS基本概念1.2 MEMS基本模型1.3 MEMS历史回顾1.4 MEMS加工技术1.5 MEMS研究成果1.6 MEMS应用现状1.7 MEMS技术小结振动、冲击、噪声国家重点实验室1.1 MEMS基本概念 微机电系统 MEMS: Micro-Electro-Mechanical Systems (USA)微系统Mcirosystem (Europe)微型机械 Micromachine (Japan)微科学 Microscience (Some researchers)振动、冲击、噪声国家重点实验室1.2 MEMS基本模型振动、冲击、噪声国家重点实验室1.3 MEMS历史回顾1947年，科学家率先发明半导体晶体管1959年，诺贝尔物理学奖获得者Feynman教授发表著名的MEMS预言演讲 ‘There is plenty of room at the bottom’1964年，Nathenson研制出第一个批量生产的MEMS设备 resona