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阵列波导光栅中心波长温度稳定性的研究 第六图书馆 阵列波导光栅中心波长的温度不稳定性成为限制其应用的主要原因。为了设计温度不敏感阵列波导光栅,结合弹性多层板热 应力理论和应力集中效应给出掩埋波导芯层应力的解析解,利用等效折射率法计算阵列波导的有效折射率及其温度系数,考虑 波导材料折射率和波导长度随温度的变化得到了硅基二氧化硅阵列波导光栅中心波长的温度系数。并研究了贴有应力板的阵 列波导光栅中心波长的温度特性,结果表明在芯片底部贴有0.37 mm厚的铝板时,TE模和TM模中心波长的温度系数分别是5.9 pm/℃和8.0 pm/℃,下降到传统阵列波导光栅中心波长温度系数的一半。阵列波导光栅中心波长的温度不稳定性成为限制 其应用的主要原因。为了设计温度不敏感阵列波导光栅,结合弹性多层板热应力理论和应力集中效应给出掩埋波导芯层应力 的解析解,利用等效折射率法计算阵列波导的有效折射率及其温度系数,考虑波导材料折射率和波导长度随温度的变化得到了 硅基二氧化硅阵列波导光栅中心波长的温度系数。并研究了贴有应力板的阵列波导光栅中心波长的温度特性,结果表明在芯 片底部贴有0.37 mm厚的铝板时,TE模和TM模中心波长的温度系数分别是5.9 pm/℃和8.0 pm/℃,下降到传统阵列波导 光栅中心波长温度系数的一半。导波光学 阵列波导光栅 温度稳定性 应力补偿板光学学报黄华茂 刘文[1,3] 黄德修 [1]武汉光电国家实验室,武汉430074 [2]华中科技大学光电子科学与工程学院,武汉430074 [3]武汉光迅科技 有限责任公司,武汉4300742007第六图书馆 第六图书馆 第六图书馆 光 学 学 报 个研究热点。目前已经提 出多种温度不敏感 阵列波 的长度差 ，m为衍射级次 。将 (1)式对温度 T微分得 导光栅 的方案 州]，但都没有对阵列波导光栅本身 到中心波长的温度系数 温度特性作完整的理论研究。为了对阵列波导光栅 d dn “． dAL ，。、 中心波长温度稳定性 的影响因素有更清楚的认识， dT nH dT △L dT ’ 使器件的初步设计更为方便，本文综合考虑热光效 阵列波导材料折射率和波导长度都随温度发生变 应、光弹效应 、热膨胀效应和应力一应变关系 ，计算 了 化，导致中心波长也随温度发生漂移 。由于 △L是相 硅基二氧化硅阵列波导光栅 中心波长的温度系数 ， 邻波导在光传播方 向的长度差 ，所 以波导长度随温 并研究了贴有应力板的阵列波导光栅 中心波长的温 度的变化只与传播方向芯层的应变 e：有关 ，则有 度特性。 一 ( + )． c3 阵列波导光栅的结构如图 1所示 。为了得到解 2 理论分析 析解 ，假设周期排列 的每一根波导受力相 同。下面 阵列波导光栅 的中心波长 满足方程式 综合考虑热光效应、光弹效应 、热膨胀效应和应力一 n effAL — 一 — ， (1) 应变关系，对硅基二氧化硅 阵列波导光栅 中心波长 m