扩散段学习报告-全传笔.pptxVIP

扩散段学习报告姓名：全传笔部门：研发部2011-07-16目录基本原理生产流程方阻测定总结与计划一、基本原理当物质内有梯度存在时，由于物质的热运动而导致质点的定向迁移过程。扩散是一种传质过程，本质是质点的热运动。扩散原理空位扩散 填隙扩散替位填隙扩散直接交换环形交换磷扩散可通过空位扩散、替位填隙扩散两种机制实现基本原理Fick 第一定律在稳态扩散的条件下，单位时间内通过垂直于扩散方向的单位面积的扩散物质量（通称扩散通量）与该截面处的浓度梯度成正比。? 式中：扩散通量：J，atoms/(m2·s)或kg/(m2·s) 扩散系数： D，m2/s； 浓度梯度: ，atoms/(m3·m)或kg/(m3·m)基本原理在扩散过程中扩散物质的浓度随时间而变化。非稳态扩散时，??在一维情况下，Fick第二定律的表达式为?式中：c为扩散物质的体积浓度（atoms/m3或kg/m3）； t 为扩散时间（s）； x 为扩散距离（m）。Fick 第二定律基本原理过程POCl3 O2PSGO2P型硅杂质再分布氧化PSG磷N型P型硅PSG除去P型气体反应淀积基本原理预沉积与再分布浓度随深度的变化图预沉积（恒定源）t为时间C0t0z再分布（限定源）基本原理反应过程POCl3在高温下（600℃）分解生成五氯化磷（PCl5）和五氧化二磷（P2O5），其反应式如下：生成的P2O5在扩散温度下与硅反应，生