电子级多晶硅与研究生产工艺.docVIP

电子级 多晶硅的生产工艺 目录 摘要........................................................1. 1引言.......................................................1 2　多晶硅技术的特殊性及我国的差距...........................1 2.1　多晶硅技术的特殊性.....................................1 3　主要的多晶硅生产技术选择.................................2 3.1　SiCl4法.................................................2 3.2　SiH2Cl2法...............................................3 3.3　SiH4法..................................................3 3.4　SiHCl3法................................................4 4　电子级多晶硅流程..........................................5 4.1　第一代SiHCl3的生产