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第24卷第12期 光 学 学 报 V01．24．No．12
2004年12月 OPTICASINICA
ACTA
文章编号：0253—2239(2004)12—1623—6
调制度测量轮廓术在复杂面形测量中的应用
邵双运1’2 苏显渝1 张启灿1 王 华1
／1四川大学光电科学技术系，成都610064、
／
＼2北京交通大学理学院，北京100044
摘要： 调制度测量轮廓术(MMP)是将物体的高度信息编码在投影到待测物面上的正弦条纹的调制度信息中，可
以实现对物体的垂直测量，特别适合测量表面有高度剧烈变化或不连续区域的物体。探讨了基于傅里叶变换的调
制度测量轮廓术在复杂面形测量中的应用，提出了调制度焦深的概念并详细分析了调制度焦深对测量的影响，以
调制度焦深为基础从测量系统设计的角度提出了提高测量精度的具体措施，给出了实验系统设计方案，讨论了影
响测量精度的几个实际问题及解决方案。对复杂面形和深孔物体的实测结果表明，基于傅里叶变换的调制度测量
轮廓术测量复杂面形物体可以达到较高的测量精度。
关键词： 傅里叶光学；光学三维传感；调制度测量轮廓术；傅里叶变换；调制度焦深
中图分类号：TP751 文献标识码：A
ofModulationMeasurement in
Profilometry
Application Complex
Measurement
Shape
Object
Shao Su Hual
XianyulZhangQicanlWang
Shuangyunl2
／1Opto—ElectronicDepartment，SichuanUniversity，ChengdU610064、
1 ／
＼2 School 00044
of JiaotongUniversity，Beijing
Science，Beijing
(Received20 8 2004)
June2003；revisedApril
Modulationmeasurement encodethe information
Abstract： profilometry(MMP)，whichheight
onthe a
intothemodulationinformationofsinusoidal surface，isvertical
grating measuring
measurement issuitbedfor those withdiscontinuous
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