厚度对La0.9Sr0.1MnO3Si薄膜结构影响.pdfVIP

厚度对La Sr MnO /Si 薄膜的结构的影响1 0.9 0.1 3 黄春奎，苏庆，徐金海，兰伟，刘雪芹 兰州大学物理科学与技术学院，兰州 (730000) E-mail: xqliu@ 摘 要：通过溶胶-凝胶旋涂方法在Si （100 ）上制备了不同厚度的La0.9Sr0.1MnO3 （LSMO ） 薄膜，利用X 射线衍射（XRD ）、共焦显微拉曼散射（Raman ）研究了LSMO/Si(100)薄膜的 微结构．研究结果表明90nm 厚的LSMO 薄膜具有正交相结构，当厚度大于 150nm 时，薄 膜具有菱方相结构．150nm 厚的薄膜的 Raman 图谱中，490 cm-1 和 602cm-1 正交结构中的 Jahn-Teller 特征峰和670 cm-1 附近菱方相中MnO6 八面体的反对称伸缩模式振动特征峰非常 明显，有两相共存现象．随着薄膜厚度的增加，薄膜的晶格常数发生变化，a 增大，c 减少．这 是由于在较厚的薄膜中，相邻MnO6 八面体间的夹角变大，Mn-O 键长增长．通过使用不同 波长的激光Raman 散射证实，LSMO/Si 薄膜具有两相共存的现象，由于LSMO 和 Si 衬底 间晶格失配，衬底与薄膜的界面处产生了应力，薄膜具有在衬底与薄膜的界面处为正交相， 表面为菱方相的双层结构． 关键词：La Sr MnO ，薄膜，共焦显微拉曼，微结构 1-x x 3 中图分类号：O484.43 具有钙钛矿结构的碱土金属掺杂的锰氧化合物La Sr MnO ,在金属绝缘体相变温度点 1-x x 3 具有庞磁阻效应[1,2] [3] [4] ．研究发现，外压力 、Sr的掺杂量 及由于与衬底晶格失配而引起的应 力[5,6]都对薄膜材料的金属绝缘体相变温度等输运特性有较大的影响．在生长La Sr MnO 1-x x 3 薄膜的时候，通常使用与La Sr MnO 材料有类似晶体结构而且晶格常数接近的LaAlO 、 1-x x 3 3 SrTiO3等衬底．但由于此类衬底不易大面积获得，而且现在的器件集成工艺基本都是基于Si 基底，考虑到与现在集成工艺的兼容性，许多人研究了La Sr MnO /Si异质结的特性．刘丽 1-x x 3 峰[9]等人用磁控溅射方法在n型Si上制备了La Sr MnO 薄膜，发现这种异质结有很好的整 0.9 0.1 3 流特性，而且这种整流特性对低磁场很敏感，这种异质结能够应用于磁传感器件．Bergenti[10， 11]等人用脉冲等离子体沉积方法制备了La Sr MnO / SiOx/Si异质结，并研究了这种异质结 0.7 0.3 3 的界面结构和磁学特性，发现在异质结的界面处形成几纳米厚的La