氮离子多级注入钛膜性能初步的研究.pdfVIP

氮离子多级注入钛膜的性能初步研究1 牛继南，强颖怀 中国矿业大学材料学院，江苏徐州（221008 ） E-mail ：njn0516@ 摘 要：铝表面制备太阳选择性涂层通常采用阳极氧化着色法和溅射镀膜法，本文中我们尝 试采用离子注入与离子镀膜相结合的方法初步研究了纯铝表面Ti 膜经N 离子注入后的太阳 选择吸收性。利用离子多级注入后纵向浓度分布呈梯度分布的原理，对纯铝表面溅射镀制的 Ti 膜进行了60KV+50KV+40KV+30KV+20KV+10KV 六级N 离子注入，并用TRIM98 程序计算了 实际注入剂量时N 离子注入Ti 的深度分布；我们对注入后的膜层进行了反射率曲线和热发 射率测量，用扫描电镜观察了样品表面形貌，同时用X 射线衍射仪对样品进行了成份分析， 并用X 光电子能谱仪对膜层表面进行了XPS 分析。结果发现，N 离子六级注入后膜层的太 阳吸收率高达99.66 ％，其热发射率为0.31 ，样品表面除有Ti 的氮化物外还生成了大量的氧 化物和含C 化合物，这是膜层热发射率较高的主要原因。 关键词：多级离子注入；离子镀膜；太阳吸收性；XPS 中图分类号：TG 146.2, TK513 1. 引 言 太阳选择性涂层是太阳能热利用中的关键，自50 年代末以色列科学家Tabor 提出光谱 选择性吸收理论后得到了迅猛的发展[1] 。太阳选择性涂层可以用多种方法制备，如电镀法、 阳极氧化法、蒸发镀膜法、溅射镀膜法、涂料法、化学镀法、火焰喷涂法、机械法等，最常 用的是阳极氧化着色法和溅射镀膜法。常见的选择性涂层有渐变氮化铝/铝涂层和 Mo － Al [2][3] O 膜层等 。 2 3 离子注入是70 年代初逐步发展起来的一种新颖的表面改性方法，它是把样品放在离子 注入机的真空靶室中，在几十到几百千伏的电压加速作用下，把所需元素的离子注入到样品 表面并形成新的化合物的一种工艺，现在已经在工业生产中获得广泛的应用。离子注入可以 根据工艺要求任意选取注入添加的元素，注入时可以精确控制注入的剂量。离子注入的横向 扩散可以忽略，深度均匀，适合大面积注入。 纯铝及其合金资源丰富，成本低廉，具有易加工、密度低、比强度高等机械性能和良好 的大气和淡水耐蚀性，经常被用作建筑构件和机械构件；它们同时还具有良好的导电、导热 等物理性能，经常被用作导线、散热器等；抛光的铝还具有高红外反射特性，经常被用作红 外反射器件。总之纯铝及其合金在各个领域中得到了广泛的应用。 基于离子注入和铝的上述优点，我们期望能通过离子注入的方法在铝表面获得性能更加 优良的吸收涂层，或者能够获得一些基础研究信息。本文中我们首次尝试采用离子注入与离 子镀膜相结合的方法研究了纯铝表面Ti 膜经N 离子注入后对太阳光谱的选择吸收性，并对 制备的样品进行了表面分析。 2. 原理 对大量入射离子的统计表明，具有相同能量的注入离子在基体中呈高斯分布，注入元素 在离表面x 处的浓度N(x) 为： 1本课题得到“江苏省2005 年研究生创新计划项目”的资助。 - 1 - 1 x −Rp 2 Φt − ( ) 2 ∆Rp 3 N (x) e （ions/cm ） （1） 2π∆Rp 其中Φt 为注入剂量（ions/cm2 ）,Rp 为平均投影射程，∆Rp 为投影射程的标准偏差。Rp 和∆Rp 与入射离子能量、入射离子和靶原子序数有关。 渐变式太阳选择性吸收膜的结构是从膜层表面到金属基底化合物体积分数逐渐减少[4]， 如果用固定的