大功率CD2激光器光学系统.pdfVIP

， 光机毫世界 y ．】 J~／oo5 】，蛆 · 3 · 大功率CO 激光器的光学系统 安田 耕三 毫色羌葛 22 在小功率激光器中不太明显，但是激光功率 1．前 言 越大越严重． 光学系统若具有上述这些不稳定因素， 就大功率 CO：激光加工而言，用的反射 剥将引起激光功率 、模式、发散角、光轴 以 和透射光学系统的稳定性是很重要的．作为 及加工点的焦点位置变化，不能进行稳定的 光学系统，使用方法要求最严格的部分是构 加工 ，因此 ，除掉上述 不稳定因素是很重要 成谐振器的垒反射镜和作为输 出镜的半透 的． 镜．由于这些光学系统一部分处于真空环境， 本文介绍在透射光 学系统 以及反射光学 而另一部分处于大气环境，所 以外压承受 1 系统中产生的不稳定因素，最后叙述可动镜 个大气压 ，并且为了放大谐扳器 内部的光 ，而 的研制方法． 照射很强的激光，在光学系统中即使有很小 的吸收率也产生大量的热，除非采取呤却方 2．传输光学系统中 法和支承方法，否则有大的热变形 ，导致形 产生的变化 状的变化．另外，由于透过窗口部分、透过 光部分的温度分布导致折射率的变化，所以 传输光学系统指的是从谐振器出口到加 产生热透镜效应引起模式变化等．另一方面， 工点的聚光光学系统 ，这部分具有随时使均 作为谐振器外部的光学系统有四偏光镜、夸 匀激光入射到聚光光学系统的作用．在加工 曲透镜、作为放大和缩小光学系统的反射镜 构件大，加工头的移动距离发生大变化的情 以及透镜．在这些用于导光和聚光部分的光 况下，或者在激光器与加工部分离开设置的 学系统中，使用方法要求最严的是用于最终 情况下 ，所用光学系统较多．其中为了将光 端的聚光透镜和反射镜．在此部分 由焊接和 束稳定地进行远距离传输 ，而使用长焦距光 切割等加工所产生的金属蒸气和溅射物等 ， 学系统或光束扩展光学系统 ，为使光路弯曲 直接附着于透镜、反射镜，迅速提高激光的 而用挠 曲镜等光学系统 ．为使聚光点的焦点 吸收率，困其形状变化和折射率变化而引起 位置和光束直径经常保持一定，这些光学系 焦点位置的变动 ，直至破坏聚光系统 。 统必须保持热稳定性。入射到聚光透镜的光 导光部分 ，也 由于激光加工机 的使用环 束直径和所聚光的点径 的关系，当光束为高 境而附着油雾和灰尘 ，由此而导致光学系统 斯分布时，如式 (1)： 的污染、提高激光的吸收率成为光学系统不 d．= 4F Ⅱ。口H-I( (1) 稳定的主要原 因。 ， 。 光学系统不稳定的主要原因是，反射镜 其 中， 为孔径 比， 。为光束半径，0为光束 和透镜困热应力导致形状变化 以及透过光学 发散角 ，K为球面像差系数 (ZnS