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微機電系統導論─微機電系統相關材料與製作 1
National Kaohsiung First University of Sci. Tech.
微機電系統相關材料與製作
Materials for Micro-Electromechanical Systems
余志成
高雄第一科技大學機械系
Department of Mechanical and Automation Engineering
National Kaohsiung First University of Science and Technology
Micro-Electro-Mechanical System Lab.
NKFUST
Materials for MEMS
Ranges of materials
Single crystal silicon, Polysilicon, Silicon Dioxide, Silicon
Nitride, Metal. Silicon Carbide, Germanium-based materials,
Piezoelectric materials, Diamond, III-V Materials.
Fabrication Methods
Crystallization
Oxidation
Film Deposition
• Physical Vapor Deposition (PVD)
• Chemical Vapor Deposition (CVD)
• Liquid Phase Deposition
MEMS Lab.
2
國立高雄第一科技大學機械系 余志成 2004
微機電系統導論─微機電系統相關材料與製作2
NKFUST
Silicon Crystal Orientation
Crystal Structure
Amorphous （非晶體）: No recognizable lump range order
Polycrystalline （多晶體）: Completely ordered in grains
Crystalline （晶體）: Entire solid is made up of atoms in an
orderly array
(a) Amorphous (b) Polycrystalline (c) Crystalline
MEMS Lab.
3
NKFUST
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