电容式RFMEMS谐振器.pdfVIP

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2017-08-30 发布于安徽
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电容式RFMEMS谐振器.pdf

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M EM S 器件与技术 M EM S Device Technolo gy 电容式 RF MEMS 谐振器 1 ,2 1 ,3 2 1 贾英茜 , 赵正平 , 杨拥军 , 王立发 ( 1. 河北工业大学信息工程学院 , 天津　300 130 ; 2 . 中国电子科技集团公司第十三研究所 , 石家庄　05005 1 ; 3 . 中国电子科技集团公司 , 北京　10084 6 ) 摘要 : 介绍了应用于通信领域的电容式 RF M EM S 谐振器及其在通信系统小型化中的优势。对电容式微机械谐振器进行了综合分析 , 包括基本工作过程分析、基本参数的理论分析及等效电路的分析。介绍了目前几种常用结构的谐振器 , 包括梳状谐振器、梁式谐振器及盘式谐振器的工作过程和谐振频率的发展空间。重点分析了谐振器的电容间隙及锚这两个重要的结构参数对谐振器性能的影响。最后 , 对电容式微机械谐振器存在的问题作了总结 , 对其发展趋势做出展望。关键词 : 谐振器 ; 射频 ; 谐振频率 ; 品质因数 ; 锚 ; 电容间隙中图分类号 : T H703 　文献标识码 : A 　文章编号 : 167 1- 4 776 (20 10) 02 - 0099- 06 Capacitive RF MEMS Resonators J ia Yingqian1 ,2 , Zhao Zhengping1 ,3 , Yang Yongj un2 , Wan g Lif a1 ( 1. S chool of I nf orm ation Eng i nee ri ng , H ebei Uni vers i ty of Technology , Ti anj i n 300 130 , Chi na; 2 . The 13t h R esea rch I ns ti t ute , CE T C, S hij i az h uang 05005 1 , Chi na; ) 3 . Chi na E lect ronics Technology Group Corp orat ion , B eij i ng 100846 , Chi na Abstract : The cap acitive RF M EM S re sonator s for co mmunication are int ro duced , and t he ad vant age of t he re sonator s for t he miniat urization of co mmunication sy st em s i s p re sent ed . The p rincip le of wor k , ba sic p aramet er s and equiva