基于微机电系统振动能量采集器件设计分析.pdfVIP

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2017-08-30 发布于安徽
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基于微机电系统振动能量采集器件设计分析.pdf

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第45卷第9期机械工程学报 V01．45NO．9 2009年9月 JOURNAL0FMECHANICALENGINEERINGSep． 2009 DoI：lO．3901／JME．2009．09．238 基于微机电系统的振动能量采集器件设计分析木李林1郭隐彪1陈旭远2 (1．厦门大学机电工程系厦门361005： 2．厦门大学萨本栋微机电中心厦门361005) 摘要：微能量采集器中电容式采集器易与IC工艺集成，目前已知的传统电容式微能量采集器都需要外加电压，这在很大程度上限制电容式微能量采集器的实际使用。针对该问题，基于微机电系统工艺，提出功函数原理电容式微能量采集器，给出采用两种不同金属作为电容极板电极的采集器原理模型设计，并建立相应系统数学模型，计算大致悬臂梁长度的设置与范围，使用有限元模拟软件ANSYS进行进一步分析与优化设计。在此理论基础上设计出的新型振动能量采集器，可克服传统电容式微能量采集器需要外界提供电源这一缺点。关键词：微能量采集器功函数微机电系统中图分类号：TGl56 CollectorBasedonMEMS and ofVibration DesignAnalysis Energy LILinlGUOYinbia01CHEN Xuyuan2 ofMechanicalandElectrical (1．Department Engineering，XiamenUniversity,Xiamen361005； SahMicro—Electro—MechanicalResearch Center,Xiamen 2．Pen-Tung Systems University,Xiamen361005) source in Abstract：Thetraditionalelectrostaticconvertersneed whichis difficultthe new separatedvoltage very practice．A converterthe workfunctionsis ofthe isbasedOil electrostaticwith of converter vibration-powered principle presented．Thedesign kinds metalasthe ofthe math to MEMS two ofdifferent electrode modelisestablished technology,andadopts plates capacitor．The the modelistestedandthe determinethe ofcantileverbeam．Andwiththeaidof fini钯elementsoftware．this dimension parameters