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第 37卷第 3期 机器人 ROBO T Vo l. 30,No. 3
2008年 5月 M ay, 2008
文章编号 : 1002 0446 (2008)
并联式四自由度定位平台误差分析
李宁宁 , 赵铁石
(燕山大学机械工程学院 , 河北 秦皇岛 066004 )
摘 要 : 设计了一种应用于扫描电镜的四自由度并联定位平台. 该平台结构简单 ,便于集成微操作装置和实现
微结构物性在线检测. 为使所设计的定位平台具有高的定位精度 ,建立了平台的误差矢量模型. 通过模拟仿真手段
分析了结构误差和上平台分支分布对平台末端定位精度的影响 ,分析了在大载荷作用下机构在非 自由度方向产生
的角位移输出.
关键词 : 并联机构 ; 误差分析 ; 蒙特卡洛
中图分类号 : TP24 文献标识码 : B
Error Ana ly sis of a 4DO F Para llel Position ing Pla tform
L IN ingn ing, ZHAO Tiesh i
( Colleg e of M echan ica l E ng ineering, Yanshan Un iversity, Q inhuang dao 066004, Ch ina)
A b stract: A 4DOF ( degree of freedom ) p arallel po sition ing p latform u sed in the SEM ( scann ing electron m icro scop e) is
de signed. The p latform is of simp le structu re, and easy to integrate m icroop erating m echan ism s and realize on line detection
of m icro structures p hysical p erform ance s. The error vector model of the p latform is estab lished to realize the h igh p recision
po sition ing p latform. Effect of the structure errors and the distribution of upp erstage limb s on the po sition ing p recision of
p latform s end is analyzed through sim u lation and em u lation. Its ou tp ut angle disp lacem ent in nonDOF direction s when op
erating w ith b iggish load is discu ssed.
Keywords: p arallel m echan ism ; error analysis; Monte Carlo
1 前言 ( In troduction) 析了关节存在的误差及其随机特性对精度的影响. 刘
红军 [ 6 ]利用矢量法建立了机构的误差模型 ,据此对机
扫描电子显微镜定位平台是一种高精度多轴联
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