集成平面螺旋电感设计及其应用.pdf

摘要 摘要 随着集成电路工艺的发展，CMOS_[艺以其低成本、易集成、低功耗等特点，己成为数字，模拟 集成电路的主流工艺。在CMOS工艺特征尺寸减小的同时，MOS器件的截止频率达到数十GHz， 从而越来越多的射频集成电路芯片采用CMOS工艺实现。随着集成电路与通信技术的发展．射频收 旋机系统的CMOS全集成已经成为发展趋势。电感作为～种重要的无源元件，广泛应用于射频电路 中实现调谐、匹配、滤波等功能。如何实现赢性能CMOS工艺集成平砸螺旋电感是目前射频集成电 路研究的热点和难点。 本论文首先介绍了平面螺旋电感发展的状况，以及平面螺旋电感设计的重要性。为了完成平面 螺旋电感的建模，分析了平面螺旋电感的多种损耗机制。然后，比较了平面螺旋电感的不同几何结 构及其不同应用的优缺点，同时研究了提高电感Q值的主要途径。在这些分析的基础上，从平面螺 旋电感的物理效应角度出发，提出了～种简化的片上螺旋电感双n等效电路模型。该模型可有效解 释螺旋电感中趋肤效应、邻近效应、村底耦合、馈通电容、导体间电容等分布效应的影响。由该模 型估算得出的元件参数，可作为实际数据拟会的参考依据，从磊提高了拟合的效率与精确性。仿真 momentum) 结果表明，拟台后的等效电路模型．在0．1GHz～10GHz范围内，与电磁场仿真软件(ADS 仿真结果有很好的～致性。 最后，针对数字电视接收机中的具体应用，基于Chartered 一系列集成电感，并从中选取合适的电感，完成了一个低相位噪声VCO的电路设计和版图设计。 Cadence 求(．85dBc／Hz@IOKHz)。 关键词：平面螺旋电感、双Ⅱ模型、等效电路模型、射频集成电路、VCO ——．—— 查里查兰竺：!兰竺笙兰 Abstract Withthe ofIC development becomes of t process．CMoSte．chnology process primary digitalanalog thatitis to IC，because to theMOSFET cheapproduce，andeasyintegrate．Wim minimumchannel length ofCMOS becomes cut-off ofMOSFETdeviceis than shorter,the more 20GHz．And process frequency moreandmoreRFIC is CMOS theother the ofIC chipsproducedby process．In hand，with development and communicationistrendthatRFtransceiveris intoa CMOS technology,it systemintegratedsingle chip． Inductorisan for and in important