微电容加速度计结构的热固耦合拓扑优化.pdfVIP

装《备制造技术~2010年第2期 微电容加速度计结构的热固耦合拓扑优化 谢勇君，严冬松，陈焕远，刘 浩 ，李景明 (暨南大学 电气 自动化研究所，广东 珠海 519070) 摘 要：基于连续体结构拓扑优化的SIMP材料插值模型，建立了热固耦合场结构的有限元控制方程 ；通过伴随矩阵方法，研究了热固 耦合场的敏度分析问题；以叉指式微电容加速度计质量块受热膨胀后 ，在加速度检测方向的最大形变不大于某一给定值为 目标，以质 量块的体积比为约束条件，建立了质量块结构的热固耦合拓扑优化模型；采用优化准则算法进行迭代求解后 ，得到 了微电容加速度计 质量块的最优拓扑形式，当工作温度在 0--300℃范围内变化时，该拓扑形式在加速度检测方向的最大形变仅为23．9nm。 关键词：at电容加速度计 ；拓扑优化；热固耦合 中图分类号 ：TH122 文献标识码 ：A 文章编号：1672—545X(2010)02—0033—03 利用微机电系统 (MicroElectroMech