FFUInterlock的原理与应用.pptVIP

FFU Interlock的原理与应用 利用侦测风机转速快慢来有效判断FFU运转是否正常以防止产品Particle污染问题 风机转速侦测与讯号转换 利用光学检测器（Photo-Micro Sensor）侦测风机叶片上固定环状贴纸，贴纸为黑白两色并各为180度。当检测器侦测到白色区域时，由于反射率达90 %以上，致使输出讯号为导通状态，我们假设它为1。当检测器侦测到黑色区域时，反射率变的极低，输出讯号即为关闭状态，我们假设它为0。当正常风机在运转时，黑白贴纸交错被光学检测器感应，使得输出讯号构成 0 - 1 - 0 - 1 波形。 波形与计算方法 应用于SMIF SYSTEM SMIF ARM : 适用机型 : LPT2200, LPI2200 Mini-Environment : 适用范围 : Particle concern issue 任何需要 FFU Interlock 设备 与SMIF ARM 整合设计概念 SMIF ARM风机转速控制图示 与Mini-Environment 整合设计概念 Mini-Environment风机控制器图示 侦测风机转速的优点 可自行设定转速快慢来决定风机运转是否正常。 测量点单纯精准。不会因Mini-Environment的体积大小与形状不同，而须增加测点或是量测误差值过大而产生误判。 可与SMIF ARM讯号连结成一套完整Interlock系统，避免发生环境洁净度问题后，而ARM仍可收 / 下货与动作。 价格便宜。与一般风压或风量侦测仪器比较更仍节省一半以上的成本。 应用范围广泛，任何需监控风机功能之设备机台皆可使用。 风速的设定与调整 根据美国联邦标准洁净室规格，Class 1~100的环境之下，风速标准必须达到0.35~0.55 m/s。故可假设风速低于0.35m/s时，风机即视为异常状态。此时可利用风机转速侦测器调整定义转速异常点，再配合以风速计确认后，便可完成。 * * 所以利用检视脉冲宽度来定义时间长度，即可了解风机运转情况。 例如，假设风机运转速度低于50转以下为不正常状况，其运算原理为 : 运转速度f = 50Hz 周期时间T = 1/50Hz = 20 ms 当脉冲宽度大于10ms , 即视为异常 风机转速讯号 SMIF ARM Fan Running Fan Error 机台 PIO Ready Automation Ready 机台 PIO Failed Automation Failed ARM Action Stop ARM 可收/下货 ARM无法收/下货 可自行定义转速快慢决定Fan error 利用上述概念侦测风机转速快慢判断异常与否，再与SMIF ARM讯号整合，来控制ARM是否可以收/下货甚至于在传送过程中断动作，以便人员确认产品洁净程度。 风机转速讯号 System Controller FAN or System Controller Ok FAN or System Controller Error No alarm Alarm and Red Lamp on SMIF Arm Action Stop SMIF power interrupter module ( Option ) 最多可连接4个风机 Battery Supply 控制器电源供应中断时可发出警告声响 Spare Portcan connect toSMIF power interrupter moduleto prevent arm has any action in case particle high issue *