ECR_RF双功率源等离子体化学气相沉积制备类金刚石薄膜的研究.pdfVIP

E CR2R F E CR2R F 双功率源等离子体化学气相沉积制备类金刚石薄膜的研究 , ( , 102600) : E CR , CH4 , Ar , ( 100) Raman ; C ) H AFM , 1. 489nm, , 0. 102 : E CR ; ; : TB43 ; T B484. 5 : A : 100 1- 3563( 200 8) 10- 0025- 03 Study of Diam on d2lik e Carbon F ilm s Pr epar ed by ECR2RF Dua l2Power Sour ce Plasm a Chemical Vap or Deposition SAN