多晶硅生产中的分析检测(学员版).docVIP

多晶硅生产中的分析检测 第一部分 化学分析部分 第一节 光谱定量分析基础 一、基本原理 光谱定量分析目前大约有三种方法。即目视法、摄谱法和光电直读法。目视法主要应用于作定性和半定量分析，用途很广。因为具有分析速度快、结果可靠等优点。光电直读法将在后面简单介绍。这里主要介绍摄谱法定量分析。 光谱定量分析主要是根据被测试样中的浓度的相互关系，可用经验公式表示： I=aCb （1） 式中a及b是常数，与实验条件有关。这个公式称为罗马金公式。是光谱定量分析的基本公式，对上式取对数得： logI=blogC+loga （2） 以logI对logC作图所得曲线在一定的浓度范围内为一直线。如图3-22所示： Ⅰ logI=logC+loga （b=1） Ⅱ logI=blogC+loga （b1） 系数b决定曲线的斜率，当b=1时，曲线与横坐标（logC）的夹角为45°。常数a则决定曲线在纵坐标上的位置。曲线表明，在元素浓度较小的情况下（曲线的直线部分OA），可认为b是常数，且b=1。随着浓度的增大，强度的增加将逐渐趋于缓慢，浓度达到一定高度，曲线（AB部分）变成弯曲，这时则认为b不是常数，且b1。 常数a，因受到试样基体元素的组成、放电间隙的气氛、放电条件、物质由固态到气态的“转化”过程，弧焰的激发温度等因素的