基于应力测量风速传感器封装和测试开题报告.docVIP

毕业设计(论文)开题报告 电子工程 系 电子科学与技术 专业 学 生 姓 名： 学 号： 设 计 地 点： 东南大学成贤学院 指 导 教 师： 毕业设计（论文）开题报告 课 题 名 称 基于应力测量的风速传感器的封装与测试 选题背景与意义（300字左右） 项目来源于国家863计划“大型起重机械用微纳传感监控系统研制及工程示范”（SS2013AA041106）课题中的部分内容。项目开展研究的传感器将用于检测港口等户外作业的重型机械的环境状况。传感器及其构成的微纳系统将为港口安全，乃至世界的港口安全运营提供技术保障。传统的风杯和风向标用于检测风速和风向，结构简单但体积大，具有可动部件。容易受雨雪冰冻等影响。MEMS风速传感器结构小巧、没有可转动部件，风速风向数据可同时得到。 二、课题关键问题及难点（300左右字） 根据课题任务，为完成课题要求达成目标。首先先要弄清压阻结构传感器的工作原理，了解其实际应用中的优缺点。据此，选择合适的封装结构，以扬长避短，完成功能要求。选择确定好合适的封装结构后，便要对此封装完毕的传感器件进行性能测试。 难点是将压阻传感器应用到风速风向的测量当中去，需要一些理论知识。其次相应的结构的设计组成是第二个难点。封装结构需要进行一些优化以改善性能。测风系统结构完成后，还需要相关的算法将测试数据转换成和风速风向相关的信息。匹配的软件系统来保证实时的采集，转化，显示测风计所收集到的数据。最后就是要对个系统进行测试，矫正。以提高其准确，可靠性。 文献综述（或调研报告）（1200字左右） 压阻式传感器piezoresistance type transducer是指利用单晶硅材料的压阻效应和集成电路技术制成的传感器。单晶硅材料在受到力的作用后，电阻率发生变化，通过测量电路就可得到正比于力变化的电信号输出。压阻式传感器用于压力、拉力、压力差和可以转变为力的变化的其他物理量（如液位、加速度、重量、应变、流量、真空度）的测量和控制。其具有灵敏度高，精度高，稳定性好，体积小，分辨率高, 频响高, 动态响应好等特点！ 风向和风速是日常生活中很关注的一件事情，对于航海、航空、渔业和农业以及风力发电站等部门来说，风向和风速的具体大小则更为重要。目前使用的风向和风速传感器其传感部件大多以机械类传感部件为主，此类传感器一般体积大、测量精度不高、灵敏度较低、响应时间也较长，而且价格也相当昂贵。因此，有必要研究结构坚固，动态特性好，测量误差小的新型测风传感器。 基于应力测量的风速传感器是一种基于微电子机械技术的硅压阻式风速风向传感器，由绝缘衬底和四个相同旋转对称分布的风速测量单元组成，分别检测风速在相互正交的两个方向上的分量。每个风速测量单元由电极、机械锚点、硅压敏电阻梁、硅支撑梁以及硅悬臂梁组成。当风从表面吹过时，悬臂梁作为感风元件，受到垂直于悬臂梁的气流的作用力而产生形变，通过硅压敏电阻梁、硅支撑梁以及硅悬臂梁组成的微型杠杆结构，以轴向应力的形式作用于硅压敏电阻梁上，引起硅压敏电阻阻值的变化。检测每个风速测量单元压敏电阻的变化，可以检测风速的大小和风速的方向，差分检测来实现二维风速和风向测量，具有制作简单，灵敏度高和较好的抗干扰能力。 正交压力测风技术是世界气象组织（WMO）推荐的测风换代新技术，所采用的传感器没有旋转部件，能够在各种恶劣的环境下可靠的工作。他的核心部件是采用当今世界上较先进的固态硅压阻压力传感器。用硅压阻微压测风传感器替代目前普遍使用的接卸旋转式风向风速传感器，其时间常数小，具有良好的动态特性。可以提供风矢量和阵风参数，以满足各种军事应用的需要。完全消除旋转式测风仪器在进行动态测量时的风速过高效应和风向风速时间和空间不同步的问题。 1.正交压力测风原理 计算南北和东西两个风速大小分量的公式： 如下为风速矢量分解图 根据南北向风速，东西向风速与真实风速之间的关系，可得合成风速为： 风向角 2.基于应力测量的风速传感器 根据正交压力测风的基本原理，要得到实际的水平风矢量，需要感应相互正交的两个方向的大气差压值，以及大气静压和大气静温，根据以上三个量与风速的关系计算出两个正交方向上的风速的大小，然后进行矢量合成，得出实际风速、风向。 固态测风仪系统组成框图 3.基于应力测量的风速传感器 基于应力测量的风速传感器软件流程图 参考文献 [1]李科杰，新编传感器技术手册，国防I业出版社 [2]强锡富，传感器（第2版），哈尔滨工业大学，机械工业出版社 [3]李家瑞，气象传感器教程，气象出版社 [4]潘新民、王燕芳，